原创力文档摘要
摘要
随着光子集成电路的快速发展，基于绝缘体上硅材料的光波导器件在集成光学领域
发挥着越来越重要的作用。其中，多模干涉光功率分束器以其低损耗、结构紧凑和工艺
容差性大等优点，在光子集成电路中得到了广泛应用。功率分束器能够实现多通道的功
率分配，对于片上光信号处理具有重要意义。然而，由于硅基材料的折射率差异，导致
其具有强双折射特性，从而使得器件对偏振敏感。为解决这一问题，必须对不同偏振态
进行独立处理。传统基于规
摘要
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随着光子集成电路的快速发展，基于绝缘体上硅材料的光波导器件在集成光学领域
发挥着越来越重要的作用。其中，多模干涉光功率分束器以其低损耗、结构紧凑和工艺
容差性大等优点，在光子集成电路中得到了广泛应用。功率分束器能够实现多通道的功
率分配，对于片上光信号处理具有重要意义。然而，由于硅基材料的折射率差异，导致
其具有强双折射特性，从而使得器件对偏振敏感。为解决这一问题，必须对不同偏振态
进行独立处理。传统基于规
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