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基于压电陶瓷驱动的二维精密定位平台设计及分析.pdf

第32卷第2期工程设计学报Vol.32No.2

2025年4月ChineseJournalofEngineeringDesignApr.2025

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引用格式引用格式:杜健,祝锡晶,李婧.基于压电陶瓷驱动的二维精密定位平台设计及分析[J].工程设计学报,2025,32(2):

199-207.doi:10.3785/j.issn.1006-754X.2025.04.154

DUJ,ZHUXJ,LIJ.Designandanalysisoftwo-dimensionalprecisionpositioningplatformbasedonpiezo‐

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