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296数控机床

296数控机床SINUMERIK系统模块化维修

图3-84四场扫描玻璃透射光栅原理及结构示意图a）测量系统原理示意图b）封闭式直线光栅尺结构示意图

用4倍频的细分电路，即莫尔条纹由原来的1个节距变成4个相位依次滞后90°的信号，从而将精度提高4倍。若光栅栅距为0.01mm且工作台每移动0.025mm就送出1个脉冲，则光栅的分辨

栅距率为0.025mm。由此可见，光栅的分辨率取决于栅距和鉴相倍频的倍数n，即分辨率=。其

栅距

n

中n=4、10、12甚至50、100或更高。

图3-85莫尔条纹（3）莫尔条纹的形成光栅尺的读数是利用莫尔条纹的形成原理进行的。图3-85中，2块栅距相同、黑白宽度相同（W=π/2）的标尺光栅和指示光栅尺面平行放置，中间保持0.01～0.1mm的间隙，且指示光栅在其自身平面内倾斜一很小的角度以便使指示光栅的刻线与标尺光栅的刻线间保持一很小的夹角θ。当光源照射光栅时，在a-a线上2块光栅的线纹彼此重合而形成1条横向透光亮带，在b-b线上2块光栅的线纹彼此错开而形成1条不透光的暗带，这些横向明暗相