CN119688597A 膜层测量方法及装置 （深圳中科飞测科技股份有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119688597A

(43)申请公布日2025.03.25

(21)申请号202510207978.3

(22)申请日2025.02.25

(71)申请人深圳中科飞测科技股份有限公司

地址518000广东省深圳市龙华区观澜街

道新澜社区观光路1301-14号101、102

(72)发明人马砚忠郑麦杰戴鹭楠白园园孙韬陈鲁

(74)专利代理机构长春中科长光知识产权代理事务所(普通合伙)22218

专利代理师孙艳辉

(51)Int.Cl.

G01N21/01(2006.01)

G01N21/17(2006.01)

G01N21/55(2014.01)

G01B11/06(2006.01)

权利要求书2页说明书6页附图6页

(54)发明名称

膜层测量方法及装置

(57)摘要

CN119688597A本发明涉及光学检测技术领域，尤其涉及一种膜层测量方法及装置，膜层测量方法包括：采用泵浦光和探测光照射待测样品，探测光经待测样品反射形成探测信号光，其中，探测光或者泵浦光经回射器引导照射待测样品，回射器沿第一方向往返移动以对探测光或者泵浦光进行时间延迟；接收回射器沿第一方向正向移动时的探测信号光，生成正向扫描光谱，以及接收回射器沿第一方向反向移动