CN119694924A 异常晶圆的诱因识别系统及方法 （无锡华润上华科技有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119694924A

(43)申请公布日2025.03.25

(21)申请号202311236036.5

(22)申请日2023.09.22

(71)申请人无锡华润上华科技有限公司

地址214028江苏省无锡市新区新洲路8号

(72)发明人陈亚威简志宏

(74)专利代理机构华进联合专利商标代理有限

公司44224

专利代理师虞凌霄

(51)Int.Cl.

H01L21/67(2006.01)

H01L21/66(2006.01)

G01R31/28(2006.01)

权利要求书2页说明书9页附图9页

(54)发明名称

异常晶圆的诱因识别系统及方法

(57)摘要

CN119694924A本发明涉及一种异常晶圆的诱因识别系统及方法，所述方法包括：获取异常晶圆的异常分布图；所述异常分布图包括所述晶圆的缺陷分布图和/或所述晶圆的良率分布图；将工艺机台在进行工艺时与晶圆接触的部件在晶圆表面的特征印记，与所述异常分布图进行对比，找出与所述异常分布图中的异常位置存在相似区域的特征印记及所述特征印记对应的部件；根据所述特征印记对应的部件，得到工艺过程中造成晶圆异常的工艺机台及工艺步骤。本发明实现了异常晶圆的智能化分析，自动化程度提升，提高了工程

CN119694924A