IEC 61340-5-1_2016 中文版 电子器件静电防护 第 5-1 部分：超纯水清洗静电管控.docxVIP

IEC61340-5-1:2016中文版电子器件静电防护第5-1部分：超纯水清洗静电管控

标准基础信息

标准编号：IEC61340-5-1:2016

标准中文全称：电子器件静电防护第5-1部分：超纯水清洗静电管控

标准归口机构：国际电工委员会IECTC101静电技术委员会

发布日期：2016年05月01日

实施日期：2016年11月01日

替代标准：替代IEC61340-5-1:2007《电子器件静电防护湿法工艺通用静电控制》

国内等同转化标准：GB/T30038.51-2021静电防护第5-1部分：电子器件生产湿法清洗静电控制

关联配套标准：GB/T11446.1-2013、GB/T11446.3-2013电子级水系列标准；SEMIE10-2022半导体湿法工艺ESD标准；ASTMD8267-24超纯水设计规范

标准定位：全球半导体、微电子、精密电子器件行业**湿法超纯水清洗工序唯一专项静电管控国际标准**，专门针对超高绝缘度超纯水易积聚静电、无电荷泄放通路的行业痛点，界定纯水清洗全流程静电产生机理、电压阈值、设备接地要求、工艺流速限值、在线监测指标。本标准补齐了纯水水质标准无静电风险管控的短板，形成「水质指标管控+静电风险管控」双闭环体系，是晶圆厂、面板厂、芯片封装厂湿法清洗工段审厂、工艺整改、良率提升的核心国际依据，适配3nm-180nm