CN119806049B 基于多轴纳米超快系统的波纹度误差补偿装置及控制方法 （电子科技大学）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利

(10)授权公告号CN119806049B

(45)授权公告日2025.06.10

(21)申请号202510294077.2

(22)申请日2025.03.13

(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN119806049A

(43)申请公布日2025.04.11

(73)专利权人电子科技大学

地址611731四川省成都市高新区（西区）

西源大道2006号

(72)发明人何松涛王伟

(74)专利代理机构电子科技大学专利中心51203

专利代理师曾磊

(51)Int.Cl.

G05B19/41(2006.01)

B23Q11/00(2006.01)

B23Q15/14(2006.01)

(56)对比文件

CN113232177A,2021.08.10审查员杨钰超

权利要求书2页说明书6页附图2页

(54)发明名称

基于多轴纳米超快系统的波纹度误差补偿

装置及控制方法

(57)摘要

CN119806049B本发明提供了一种基于多轴纳米超快系统的波纹度误差补偿装置及控制方法，补偿装置包括四个相同型号的驱动单元、一条柔性铰链、一个真空吸附平台、一个连接法兰和一个固定底座，驱动单元包括压电陶瓷驱动器和位移传感器，所述压电陶瓷驱动器位于柔性铰链的底部，真空吸附平台与柔性铰链相连