GB_T 11446.4-2013 中文版 电子级水测试方法 电阻率测定.docxVIP

GB_T11446.4-2013中文版电子级水测试方法电阻率测定

前言

在半导体、显示面板、湿电子化学品制造领域，电阻率是电子级水最基础、使用频率最高的快速判定指标，直接反映水体当中总可电离杂质离子的整体水平。水中离子杂质越少，水体导电能力越弱，电阻率数值越高。25℃条件下理论纯水电阻率极限为18.2?MΩ·cm，一旦水体接触空气，二氧化碳快速溶解生成碳酸氢根离子，会造成电阻率快速跌落，这也是现场测试最普遍的干扰来源。电阻率检测具备快速连续监测的优势，广泛部署于纯水制备系统各个工段，但该指标仅反映总离子水平，无法区分阴离子、金属、胶体硅、微粒、总有机碳等非离子类杂质，单一电阻率合格不能代表电子级水整体水质达标。工程实践当中，电极选型错误、温度补偿算法偏差、离线敞口取样、电导池被污染、气泡滞留，都会造成读数失真，不同现场之间数据难以横向比对。

GB/T11446.4-2013《电子级水电阻率的测试方法》2013-12-31发布，2014-08-15正式实施，替代旧版GB/T11446.4-1997，属于GB/T11446电子级水整套标准体系第四部分，归口中国电子技术标准化研究院，是整套电子级水检测体系的基础方法，与痕量金属、阴离子、全硅、TOC、微粒、细菌总数等检测方法配套使用。标准完整规定在线动态测量为主、离线测量为辅的整套检测流程，新增电导池常数术语定义，专门设置