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基础化工行业AI系列深度——六氟化钨：供需错配景气高涨，国产替代正当其时.docx

基础化工行业AI系列深度——六氟化钨：供需错配景气高涨，国产替代正当其时.docx

    行业深度分析报告/

    行业深度分析报告/

    六氟化钨：半导体制造中不可替代的电子特气 4

    下游扩产和技术迭代同步推进，打开需求空间 8

    原料管制叠加海外断供，国产替代迎来新机遇 12

    成本端具备支撑，价格预计或高位运行 17

    投资建议 19

    中船特气 19

    昊华科技 20

    中巨芯 21

    和远气体 21

    风险提示 22

    图表目录

    图1:六氟化钨采用钢瓶储存和运输 4

    图2:电子特气在集成电路工艺中的应用 5

    图3:六氟化钨主要用于沉积工艺 5

    图4:中船特气采用自产三氟化氮制备六氟化钨 6

    图5:氟气与钨粉反应合成六氟化钨后经过提纯得到成品

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