SEMI F75-24 半导体制造超纯水质量监测指南（中文解读）.docxVIP

SEMIF75-24半导体制造超纯水质量监测指南（中文解读）

说明：SEMIF75-24为半导体工厂超纯水（UPW）质量在线监测、取样分析、数据管理与异常响应行业标准，2024版（SEMIF75-24）。本文件为工程中文解读版，可直接使用；正式对外报审、涉外项目、第三方审计，需以SEMI英文原版为准。

1总则

1.1目的

规定半导体制造超纯水系统质量监测体系，包括监测参数选择、在线仪表配置、取样点设计、分析频率、超标判定、异常响应、数据记录与趋势管理要求。通过系统化监测，保障UPW各项水质指标持续满足制程规格，及时发现污染源、膜/树脂劣化、管路泄漏等异常，防止劣质水进入晶圆工艺造成良率损失。

1.2适用范围

适用对象：半导体Fab超纯水整套系统质量监测（原水预处理、RO反渗透、EDI、抛光树脂、储罐、分配循环管网、UV、超滤、终端过滤）；

适用场景：连续在线监测、定期取样分析、新系统验证、系统改造后复测、日常水质管理；

监测维度：物理指标（电阻率、TOC、颗粒、硅、溶解氧）、微生物、痕量金属、特定离子、颗粒、DO、硅酸根、有机物；

不适用：一次性简单水质抽查（无系统性监测方案）；不适用于纯水工艺末端晶圆表面污染的在线原位测量。

1.3引用标准

SEMIF63超纯水水质规范

SEMIF57超纯水取样方法

SEMIF61超纯水系统设计运行维护

SEMIF