SEMI F20（原SEMI F2）半导体制造316L不锈钢管材标准中文版详细解读.docxVIP

SEMIF20（原SEMIF2）半导体制造316L不锈钢管材标准中文版详细解读

重要前置说明：SEMIF2原版已于2003年正式废止（Withdrawn），不再单独使用，其全部管材内容合并并入SEMIF20（Specificationfor316LStainlessSteelBar,Forgings,ExtrudedShapes,Plate,andTubingforSemiconductorManufacturingApplications）。行业内很多人口语仍习惯称作“SEMIF2”，所谓“SEMIF2-23”实际应为SEMIF20最新版本，不存在独立SEMIF2-23版本。本解读文档对应SEMIF20（替代原SEMIF2）。

1总则

1.1标准目的

本标准规定半导体工厂通用级GP、高纯级HP、超高纯级UHP工艺流体（特种工艺气体、超纯液体化学品、超纯水）输送管路所用316L（UNSS31603）不锈钢管材的冶金纯净度、化学成分、力学性能、金相、检验、表面处理、清洁与包装要求，控制金属析出、颗粒物、脱气、晶间腐蚀，降低晶圆污染风险，保障半导体工艺良率。

原SEMIF2仅覆盖通用级316L管材，废止后由SEMIF20统一覆盖棒材、锻件、板材、管材，分级GP/HP/UHP。

1.2适用范围

适用管材：无缝TP316L、焊