考虑直流偏置电压影响的弹性悬臂微梁挤压膜阻尼新模型.pdf

工 No．2 第22卷第2期 振 动 程 学 报 V01．22 2009年4月 of JournalVibration Apr．2009 Engineering 考虑直流偏置电压影响的弹性悬臂微梁 挤压膜阻尼新模型 李 普1，方玉明2 (1．东南大学机械工程学院。江苏南京211189，2．南京邮电大学电子科学与工程学院，江苏南京210003) 摘要：正确预测MEMS器件的挤压膜阻尼在器件的设计阶段具有非常重要的意义。提出了一个新的、考虑直流偏 置电压引起静态变形的挤压膜阻尼模型。运用雷诺方程和弹性梁方程的耦合，将挤压膜间隙中的二维压力函数表 示为长度方向的一维抛物线函数与宽度方向的一维余弦函数之积。由于模型考虑了直流偏置电压引起的静态变形 的影响，有更广的应用范围。与实验结果的对比表明，模型有足够的精度。 关键词：挤压膜阻尼；弹性悬臂微梁；MEMS 中围分类号：TN402；TB53文献标识码：A 文章编号：1004—4523(2009)02—0123—0S 分量引起的微梁静态变形都被忽略了，以至于这些 引 言 模型的使用范围受到限制。以微谐振器为例，作用在 微梁上的驱动电压一般是一个相对大的直流偏置电 近20多年来，微电子机械系统(MEMS)发展压加上一个相对很小的交流电压[1]。相应地，微梁的 非常迅速。在已有的系统中，有一大类是利用微机械 变形包含一个静态偏置变形和一个动态变形。已有 结构在固有频率处所具有的优良振动性能来工作 的挤压膜阻尼模型没有考虑静态偏置变形对挤压膜 的。品质因数是这类微机械谐振系统的关键指 阻尼的影响。所以，目前的模型只能在微梁静态变形 标n’2】。在影响品质因数的各种能量损耗机制(阻尼 很小的场合中使用。 机制)中，流体介质引起的能量损耗在总能量损耗中 集中参数的挤压膜阻尼模型表明Cz]，挤压膜阻 尼的大小与上、下极板间隙尺寸的三次方成反比。由 占绝对大的比例[1’2】。挤压膜阻尼(Squeeze—film 此可以大致推断，直流偏置电压引起的微梁静态变 damping)是微机械谐振系统中最常见的流体阻尼。 其产生原因是：微机械振动器件中的振子工作在基 形将以近似三次方的关系使挤压膜阻尼增大。实际 底附近，与基底平面之间形成了微小间隙，且振子振 上，在一些实验中[11’12]，微梁静态变形较大导致挤 动方向垂直于基底平面，振子与基底之间的流体受 压膜阻尼增大的现象已经很明显，但这些现象很少 振子的挤压而产生的作用在振子上的力。目前，已有 引起关注。 许多文献研究微机械振动器件的挤压膜阻尼， 虽然利用有限元法等数值方法，以静态变形后 的微梁为边界条件，可以计算挤压膜阻尼。但数值法 Nayfeh等和Bao等给出了非常详细的文献综 述[1’2]。工程中，由于相当多的MEMS器件核心构件具有计算效率很低、不能直接体现器件几何参数与 就是几何形状简单规则的微梁，所以微梁的挤压膜 物理性能的关系等，这些缺点是无法克服的。本文针 阻尼得到格外重视。挤压膜阻尼的求解方法一般都 对弹性悬臂微梁这一常见器件，基于梁振动方程和 是基于伽辽金法求解