AlN C 多层膜高性能反射镜结构设计 .docVIP

【标题】AlN/C?多层膜高性能反射镜结构设计 【作者】杨 阜 俊 【关键词】?一维光子晶体??高性能反射镜??多层膜??传输矩阵? 【指导老师】党 随 虎 【专业】物理学 【正文】1??前言1.1光子晶体的提出?在过去的50?年中，对半导体技术的深入研究和广泛应用推动了电子工业和信息产业迅速发展。目前半导体技术正向着高速度、高集成化方向发展，但这也不可避免地引发了一系列问题：比如电路中能量损耗过大导致集成片发热，此外由于高速处理对信号在器件中的延迟提出了更高的要求。半导体器件的能力已基本到达了极限，为此科学家们把目光从电子转向了光子。与电子相比，?光子具有如下优势：（1）极高的信息容量和效率?（2）极快的响应能力?（3）极强的互连能力和并行能力?（4）极大的存储能力?（5）光子间相互作用很弱?可极大地降低能量损耗。但是与集成电路相比，集成光学器件的尺寸和集成度问题，一直是困扰集成光学发展的重要问题之一。采用传统的光波导原理设计和制作光学元件，如果要想缩小尺寸是非常困难的，因而严重限制了可达到的集成度。目前对光子晶体的研究与开发，不失为解决以上困难的一种有效途径。“光子晶体”是 1987?年提出的新概念和新材料。Yabnolovitch?在讨论如何抑制自发辐射时提出了光子晶体这一概念。几乎同时John?在讨论光子局域时也独立提出了这一概念。这种材料有一个显著的特点，即它可以如人所愿地控制光子的运动?。光子晶体是一种由于存在带隙而对频率有选择特性的周期性介质结构，光不能在其中存在或传播的频率范围称为“光子带隙”，或称“光子禁带”。自然界有光子晶体的例子，如欧泊（蛋白石）和色彩斑斓的蝴蝶翅膀，但目前仿真试验室中所用的光子晶体都是人工设计制作出来的按照组成光子晶体的介质排列方式的不同，可将其分为一维、二维和三维光子晶体。1.2光子晶体的类型所谓一维光子晶体?（1-D PC）指介质只在一个方向具有周期性结构，而在另外两个方向上是均匀的（图 1-1a）。将两种不同折射率的介质薄膜交替排列就可构成 1-D PC，传统的多层膜也可以看作?a??????????????? b??????????? c????图1.1????光子晶体空间结构示意图是1-D PC?的例子。相对而言，1-D PC?在结构上最为简单，易于制备。最初人们提出，由于只在一个方向上具有周期性结构，1-D PC?的光子带隙只可能出现在这个方向上，然而后来 Joannopoulos?和他的同事从理论和仿真试验上指出 1-DPC?也可能具有全方位的三维带隙结构，因而用 1-D PC?材料可能制备出由二、三维材料制作的器件。二维光子晶体?是指介质在两个方向上具有周期性结构而在第三个方向上是均匀的（图 1－1b）。如周期排列的介质棒，沿着棒的方向材料不发生变化，而在垂直于棒的平面内，材料呈周期性的变化。二维光子晶体的制作比三维要相对容易，但它却具有三维光子晶体具有的某些有用特性。这类结构可在器件的平面内以任意角度阻挡某些波长的光，甚至可在第三维（即与表面垂直的方向）阻挡以某种角度入射的光，这样，二维光子晶体就成为很多应用的良好选择方案。最早制作的二维光子晶体是用机械钻孔的方法或用介质棒来排列。目前，二维光子晶体的带隙已经达到红外和光学波段。介质在三维方向上都呈周期性变化的结构称为三维光子晶体?（图 1－1c）。在三维光子晶体中，有可能出现全方位的光子带隙，即落在带隙中的光在任何方向都被禁止传播。这一特性具有极其重要的应用前景。不过三维光子晶体的制作相对复杂，对材料和设计加工都有很高的要求，带隙处于微波段的三维光子晶体可由机械加工的方法制作，而带隙在红外和可见光波段的则需要用刻蚀或其它方法制作。1.3光子晶体的性质及在反射镜上的应用光子晶体的两个主要性质是光子禁带和光子局域，它是光子晶体的应用基础，正是基于光子晶体的这些性质?，光子晶体才展现出了诱人的应用前景。在具有完全禁带的光子晶体中，落在禁带中的光子是被禁止传播的。光子禁带是由于光入射到周期图1.2光子禁带示意图?图1.3光子晶体对原子自发辐射的影响(a)抑制自发辐射示意图(b)加强自发辐射示意图介质结构的光子晶体时，某些频段的光波被介质散射后相干相消，不能透过该介质而形成的?，如图1.2所示。禁带特性的存在带来了许多新的物理效应和现象。长期以来人们认为自发辐射是不可控制的，它将不可避免的与受激吸收和受激辐射共存。光子晶体的存在改变了这一思想?。我们知道，自发辐射的几率与光子态的数目成正比，当原子被放在一个光子晶体里，它的自发辐射频率正好落在光子禁带中，由于该频率光子态的数目为零，自发辐射也会被完全抑制?，如图1.3所示。在现代光电技术中，自发辐射的抑制有着重要