超导Josephson隧道结的制备工艺及性能改善.docVIP

  超导 Josephson 隧道结的制备工艺及性能改 善# 常俊杰，翟计全，许伟伟，朱冉，吉争鸣，孙国柱** 5 10 （南京大学电子科学与工程学院，南京 210093） 摘要：超导 Josephson 隧道结是实现超导量子比特的基本元件。本文介绍了一种利用电子束 曝光技术和电子束斜蒸发技术相结合的方法来制备铝超导 Josephson 隧道结。这种方法工艺 简单，通过一次光刻就可完成；而且可以通过调节下层光刻胶厚度、斜蒸发角度、悬空桥区 宽度等参数可以有效地控制隧道结的面积大小；此外，本方法通过采用不对称电极结构有效 地改善了隧道结的漏电流特性，满足了制备超导量子比特的要求。 关键词： Al/Al2O3/Al 隧道结；悬空掩模结构；斜蒸发 中图分类号：O511+.9 Superconducting Josephson tunnel junction fabrication 15 20 25 30 35 process and performance improvement Chang Junjie, Zhai Jiquan, Xu Weiwei, Zhu Ran, Ji Zhengming, Sun Guozhu (Electronic Science and Engineering School,Nanjing University,Nanjing 210093) Abstract: Superconducting Josephson tunnel junction is the basic component of superconducting qubits. This paper describes a technique using electron beam lithography and electron beam oblique evaporation technology combined to fabricate aluminum superconducting Josephson tunnel junctions. This method is simple can be completed through one photolithography. And the size tunnel junctions can be effectively controlled by adjusting the thickness of lower photoresist, oblique evaporation angle and the width of floating bridge. In addition, the tunnel junction leakage current performance is effectively improved by the use of asymmetric electrode structure and meet the requirements of superconducting qubit quite well. Key words: Al/Al2O3/Al tunnel junction; Suspended mask structure; Oblique evaporation 0 引言 量子计算的核心问题是找到一个合适的物理系统充当量子比特(qubit)。目前量子比特有 许多候选者，例如核磁共振、离子阱、量子点、超导结等等。其中，超导量子比特是一种固 态电路，设计和制备工艺都比较成熟，容易集成和扩展；并且超导量子比特尺寸在微米量级， 属于宏观量子系统，比一般量子系统大 1000 倍左右，量子比特之间以及与外界的耦合比较 强，外界对量子比特的操作也相对容易。这些优点使超导量子比特成为最有潜力的量子比特。 在超导量子计算[1-4]中主要有三种类型的量子比特，分别为相位量子比特[2]、磁通量子比特[3] 和电荷量子比特[4]。 利用包含单个或两个超导 Josephson 隧道结的超导环可以制备 SQUID (Superconducting Quantum Interference Device)，即超导量子干涉器件[5-6]，一个超导量子比特[7-8]本质上就是一 个 SQUID。其中，超导 Josephson 隧道结是实现超导量子比特的基本元件，其质量的高低直 基金项目：973 项目 (批准号: 2011CBA00107, 2009CB929602), 国家自然科学基金(批准号: 和教育部博士基金(批准号: 200802840031)资助项目 作者简介：常俊杰（1984-），男，硕士研究生，主要