消除扫描电子显微镜图像荷电效应的方式探讨.pdfVIP

第 卷第 期 实验科学与技术 年 月 消除扫描电子显微镜图像荷电效应的方式探讨 刘照斌 辽宁师范大学实验中心 辽宁大连 摘要 扫描电子显微镜主要用于样品形态观察 图像立体感强 但是在观察过程中经常因为荷电效应 影响图像质量 消 除荷电效应在扫描电镜使用过程中非常重要 文中对荷电效应产生原因进行论述 并对减轻荷电效应的常规方法进行说 明 比较拍照 积分拍照 慢拍照的 种拍照方式 重点探讨积分拍照方式消除荷电效应的影响 在实际应用中取得 满意的图像效果 关键词 扫描电子显微镜 积分拍照 图像 荷电 中图分类号 文献标志码 扫描电子显微镜作为一种常用的科学仪器 被 应用于各个领域 其中生物 化学 半导体等领域 应用得尤为突出 在扫描过程中常常会遇到导电性 能差的样品 在扫描过程中出现荷电效应 极大地 影响了拍摄图片的质量 传统的处理方法是在样品 制备时延长镀膜时间 增大导电膜厚度 本文从荷 电效应原理出发 介绍一种积分拍照的新方法 极 大改善拍摄效果 产生荷电效应的原因 图入射电子束与样品交换作用 高能入射电子束与样品交互作用 激发产生二 次电子流 背散射电子流和吸收电流如图 所示 样品表面荷电效应示意图如图 所示 图中 探针 电流为 背散射电子流为 二次电子流为 吸收电流为 入射样品电流 从样品出来电流 收稿日期 修改日期 作者简介 刘照斌 男 工程师 硕士 主要从事实验教学 图在样品上电荷的积累 第 卷第 期 刘照斌 消除扫描电子显微镜图像荷电效应的方式探讨 如果是导电样品 则 方式 样品上的电流趋于平衡 不会产生荷电效应 拍照方式 拍出的图像分辨率比较低 如图 所示 但是拍照比较快速 可以减轻荷电效应 一般不采 如果是导电不良的样品 则 就会产 用这种方式 生荷电现象如图 所示 积分拍照方式 每帧图像拍照特别快速 这样可以消除荷电效应的影响 同时又可以选 减轻荷电效应常规方法比较 多帧图像进行积分 保证图像质量和分辨率 减轻荷电效应 首选办法是给样品喷镀一 这样拍照方式特别适合容易产生荷电效应的样 层导电膜 通常是喷金 也可以喷碳 如果观察的 品 样品如果比较疏松 有大量孔隙 导电性又不好