第9章 微机电系统.pptVIP

微马达 弧形梳齿： 微马达 旋转马达： 美国喷气推进实验室(JPL)展示的采用MEMS技术的电阻电热式微推进器样机（液体气化方式）。微推进器由薄膜加热器、微型喷口等组成。其性能目标为：比冲75～125s，推力0.5mN，功率 5W，效率≥50%，质量为几克，大小为1cm2。 微推进器 固态卫星 美国提出的硅固态卫星的概念图，这个卫星除了蓄电池外， 全由硅片构成，直径仅15cm MEMS制造工艺 大机器加工小机器，小机器加工微机器 微机械 用微电子加工技术 X光铸模+压塑技术(LIGA) 从顶层向下 从底层向上 分子和原子级加工 国防、航空航天、生物医学、环境监控、汽车都有广泛应用。 2000年有120-140亿美元市场 相关市场达1000亿美元 2年后市场将迅速成长 MEMS 微系统 MEMS系统 MEMS制造工艺 大机械制造小机械，小机械制造微机械 日本为代表 LIGA工艺 Lithograpie(光刻)、Galvanoformung(电铸) Abformung(塑铸) 德国为代表 硅微机械加工工艺：体硅工艺和表面牺牲层工艺 美国为代表 LIGA加工工艺 LIGA技术采用深度X射线光刻、微电铸成型和塑料铸模等技术相结合的一种综合性加工技术，它是进行三维立体微细加工最有前途的方法之一。 利用LIGA技术可以制造出由各种金属、塑料和陶瓷零件组成的三维微机