半导体离子传感器及其敏感傅敏恭.pdf

。 。 第 了卷第 期 化 学 传 感 器 , 年 月 。 半导体离子传感器及其敏感膜 傅 敏 恭 江 西 大学化学系 、 , 于 导 子 感器 简称巧 容 易实现微型化 集成化和 多功 能化 因而 由 半 体离 传 受 到 电化 学、 固体物理学 以及生 物 医学 界 的关注 。 有关这种传感 器 的一般制作与应 用在 国 内 。 , , 〔 “〕 外 已有较 多的报导 一 同时 在研制 器件 时 由于 管 的平 面工 艺 也 较 成 , , , 熟 因此 作为化学传感器来说 , 敏感膜 的制作技术和膜 的敏感机理就成为重要 的课题 这也是本文叙述 的重 点。 一 、 半 导体离子传 感器 的制作概要 就半导体离子 传感器 的制作来看 , 平面 图形 的设计 是首先碰 到 的 问题 , 从 理 论 上 来