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Ch2 电阻式传感器 基本原理 一、应力 二、应变 二、应力与应变的关系 二、应力与应变的关系 一、工作原理 一、工作原理 一、工作原理 一、工作原理 一、工作原理 一、工作原理 一、工作原理 结束 灵敏系数Kb=60~150,灵敏系数特别大,这是压阻 式传感器的突出特点; 不存在横向效应 半导体材料的导电特性对温度非常敏感。 阻值变化: =Kb 一、工作原理 §2 压阻式传感器 被测量X △R 电流 I 电压 U 传感器 转换电路 直流电桥 转换电路 交流电桥 §3 转换电路 Uo R2 R3 R4 R1 C B D A 一、直流电桥 §3 转换电路 平衡时:UB=UD UAB=UAD UBC=UDC I1=IAB =IBC I2=IAD =IDC I1 R1 = I2 R3 I1 R2 = I2 R4 条件:R4 /R3 = R2 /R1 Uo R2 R3 R4 R1 C B D A I1 I2 一、直流电桥 §3 转换电路 R1 R4 = R2 R3 R4 /R3 = R2 /R1=n n-桥臂比 平衡条件: 一、直流电桥 §3 转换电路 Uo = UB -UD U Uo R2 R3 R4 +△R R1 C B D A 时 一、直流电桥 §3 转换电路 Ku = U n (1+n)2 电桥灵敏度: (1)Ku与输入电压有关; U0= U 4 △ R R (2)Ku与n有关。(何时Ku最大)? 一、直流电桥 §3 转换电路 如何克服直流单臂电桥的非线性问题? 差动技术: f(x)=a0 +a1x +a2x2 +…+ anxn f(-x)=a0 -a1x +a2x2 +…+ an(-x)n △f(x)=2a1x +2a3x3 +… 二、差动电桥 §3 转换电路 U0= U 2 △ R R U Uo R2 R4 -△R R3 C B D A +△R R1 二、差动电桥 §3 转换电路 三、恒流源 §3 转换电路 恒流源如何减小非线性? 用应变片测量时,由于环境温度变化而引起电阻变化,由此而产生的测量误差,称为应变片的温度误差。 三、温度误差与补偿 §3 转换电路 原因 敏感栅电阻随温度的变化引起的误差 三、温度误差与补偿 §3 转换电路 △t-温度增量 -电阻温度系数 原因 ②试件材料的线膨胀引起的误差 三、温度误差与补偿 §3 转换电路 -灵敏度系数 -试件膨胀系数 -应变片膨胀系数 原因 总的误差 三、温度误差与补偿 §3 转换电路 热输出 方法 (1)自补偿法 三、温度误差与补偿 §3 转换电路 对于给定的试件,通过对敏感栅材料合适的热处理工艺、改变合金成份等措施,使得 at 满足上式。 或两段不同材质的敏感栅串接,使得△R1=- △R2 (2)线路补偿法 接入消除温度影响的电阻。如差动补偿、热敏电阻、补偿电阻。 三、温度误差与补偿 §3 转换电路 R1 Rc R1 Rc 1、结构简单,使用方便、性能稳定、可靠、适应性强,信号处 理简单,能适应较大的振动和冲击,抗辐射能力强; 2、灵敏度、精度高、动态测量,测量范围大; 3、便于多点测量、远距离测量和遥测; 4、压阻式灵敏系数大、分辨率高、频率响应高、体积小、适于半导体工艺、机械滞后小、横向效应小、但易受温度影响、机械强度差。 一、应用特点与范围 §4 应用 综合误差在 1.0%-0.1%,高精度力传感器已能达到0.03%-0.01%。 压力:104-109Pa;力:0.1-107N 一、应用特点与范围 §4 应用 1、应变、应力; 2、力,如拉力、压力、压强、扭矩; 3、加速度、位移等。 一、应用特点与范围 §4 应用 广泛用于测应力、应变、力、称重、位移、加速度及扭矩等,并且在力学量传感器中,电阻应变式传感器至今仍占有主导地位。 一、应用特点与范围 §4 应用 建筑上常用应变片检测建筑物的所承受的应力和应变。如大坝、立交桥的立柱等。可以长时间检测。 粘贴在建筑物表面; 浇注在混凝土中。 二、应用举例 §4 应用 二、应用举例 §4 应用 二、应用举例 §4 应用 * 测控电路(含传感器)MEASURING CONTROLING CIRCUIT AND SENSOR 2009 天津大学精密仪器与光电子工程学院 CH2 电阻式传感器 DC I’ R’ 环境温度T’ T R I 温度传感器 将被测的非电量转换成电阻值的变化,再由转换电路变成电量输出。 主要类型 应变式 压阻式 CH2 电阻式传感器 应力与应变 横截面积A 外力F
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