天大 测控 考研 传感技术与测控电路 4.pptVIP

CH4 电容式传感器 4.1 工作原理 4.4 容栅式传感器 结束 R1 Ur R2 双稳 态触 发器 VD1 VD2 A1 A2 A B C1 C2 F Q Q G 4.3 转换电路 三、差动脉冲调宽电路 VD1 C1 C2 Q Q A B VD2 F G R1 R2 4.3 转换电路 t uA uA uB uB uAB uAB UF UF UG UG Ur Ur Ur Ur -U1 U1 T1 U1 -U1 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 T2 U1 U1 U1 U1 T1 T2 t t t t t t t t t (a) (b) U0 Uo＝ C1 + C2 C1 - C2 Ur 输出电压与电容变化成线性关系。 （2） 4.3 转换电路 三、差动脉冲调宽电路 4.3 转换电路 四、运算放大器式电路 A － U。 Uo＝ Cx C0 Ui （3） - Uo＝ C0 Ui （4） - εA δ 解决变极距型电容器的非线性。 问题提出：如何解决电容式位移传感器的高精度与小量程矛盾？ 解决方法：将电容式感器极板做成栅状，相对移动时电容发生周期性变化。 一、工作原理 x W 动栅 定栅 4.4 容栅式传感器 x W 2W Cmax C0 C x 一、工作原理 4.4 容栅式传感器 按测量对象分： 长容栅 圆容栅 二、类型与结构 4.4 容栅式传感器 4.4 容栅式传感器 二、类型与结构 按结构形式分： 反射式 透射式 倾斜式 4.4 容栅式传感器 二、类型与结构 反射式 4.4 容栅式传感器 二、类型与结构 透射式 4.4 容栅式传感器 二、类型与结构 倾斜式 4.4 容栅式传感器 二、类型与结构 4.4 容栅式传感器 二、类型与结构 原理上属于变面积型 多极平均效应，精度高 采用等节距的栅型结构，精度不直接与长度 有关，适于长距离测量 4.4 容栅式传感器 二、类型与结构 1、变 A、δ型 （1）可以测线位移、角位移； （2）可以测力，压力； （3）可以测振动、加速度； （4）接近开关。 4.5 应用 一、应用范围 1、变 A、δ型 如电容位移传感器、电容测微仪、麦克、电容式电子称、电容压力传感器等电容式加速度计等。 一般变极板间距离电容式传感器的起始电容在 20～100pF之间, 极板间距离在25～200μm的范围内, 最大位移应小于间距的1/10, 故在微位移测量中应用最广。 4.5 应用 一、应用范围 2、变ε型 （1）可以测几何量； （2）可以测物质属性。 如测厚度、移动距离、液面高度、含水量、非金属涂层的厚度等。 4.5 应用 一、应用范围 3、容栅式 （1）数显量具； （2）几何量检测数显量仪。 如数显卡尺、千分尺、百分表、内外径数显尺、曲轴测量、坐标测量仪等。 4.5 应用 一、应用范围 1、振动仪 4.5 应用 二、应用实例 2、电容传声器 4.5 应用 二、应用实例 * §1 工作原理 §2 特性与特点 §3 转换电路 §4 容栅式传感器 §5 应用 ch4 电容式传感器 基本原理：是把被测量变化转换成电容量变化的传感器。 本质：电容量可变的电容器。 ch4 电容式传感器 Cx δ A ε 一、基本原理 d e A C = A－极板相对覆盖面积； ε－介质的介电常数； δ－极板间距离。 4.1 工作原理 一、基本原理 d e A C = 变面积型 变极距型 变介电常数型 4.1 工作原理 二、分类 4.1 工作原理 二、分类 4.1 工作原理 二、分类 4.1 工作原理 二、分类 4.2 特性与特点 一、输出特性--变δ型 0 0 d e A C = d e d A f C = = ) ( 4.2 特性与特点 一、输出特性--变δ型 （1） 当 1 时 （2） 4.2 特性与特点 一、输出特性--变δ型 略去高次项，得输出特性： 原理上，变δ型存在非线性问题。 （3） 4.2 特性与特点 一、输出特性--变δ型 （1）灵敏度与A、 ε成正比； （2） δ0越小，S越大，但可能击穿，测量范围小； （3）S可以很大，实现纳米测量。 灵敏度： （4） 4.2 特性与特点 一、输出特性--变δ型 1、差动技术 2、容抗作为输出 4.2 特性与特点 一、输出特性--变δ型 如何改善变极距型的线性？ 电容量 灵敏度 4.2 特性与特点 一、输出特性--变A型 电容量 灵敏度 4.2 特性与特点 一、输出特性--变A型 电容量 灵敏度 4.2 特性与特点 一、输出特性--变A型 输入与输出为线性关系； 线性范围