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显微 、测量 、微细加工技术与设备
Micro scop e , Mea surement , Microfabrication Equip ment
扫描近场光学显微镜中探针样品间距控制方法
王 昭 , 吴世法
(大连理工大学 近场光学与纳米技术研究所 , 辽宁 大连 116024)
摘要 : 在动态原子力与近场光学扫描显微镜中 , 探针与样品的间距关系到分辨率以及扫描速度这
两个最重要参数的性能 。在对几种主要的动态原子力/ 扫描近场光学组合显微镜的探针/ 样品间距
控制模式分析的基础上 , 认为提高探针 Q 值是提高扫描显微镜分辨率的有效方法 。但是, 对采
用检测控制探针振幅模式, 期望在提高分辨率的同时加快扫描成像速度是不可实现的, 因而限制
了其发展的空间。而在检测控制探针频率模式下, 提高探针 Q 值 , 可有效提高扫描探针显微镜
的分辨率 , 且不会制约扫描成像速度的提高 。该结论为将来的纳米操作和纳米超高密度光存储的
实用化提供了可能 , 对大连理工大学近场光学与纳米技术研究所研制的原子力与光子扫描隧道组
( )
合显微镜 A F/ P STM 的改进和产业化具有积极意义 。
关键词 : 动态原子力显微镜 ; 近场扫描光学显微镜 ; 间距控制 ; 控制模式 ; 扫描速度 ; 分辨率
中图分类号 : T H742 文献标识码 : A 文章编号 : 167 1- 4 776 (200 8) 11- 0662 - 06
TipSample Distance Regulations in
Scanning NearFiel d Optical Microscopy
Wang Zhao , Wu Shif a
( )
I ns ti t ute of N ea rF iel d an d N ano Technology , D al i an Uni ve rs i ty of Technology , D al i an 116024 , Chi na
Abstract : A tipsamp le di st ance regulation i s one of key p roblem s in dynamic ato mic force/
scanning nearfiel d op tical micro scop y , w hich aff ect s t he t wo import ant p aramet er s , t he
re solution and scanning velocit y . Several met ho ds for mea suring and cont rollin g tipsamp le
di st ance in dynamic ato mic force/ scanning nearfiel d op
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