面向微系统的介电泳力微纳粒子操控研究.pdfVIP

第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 -2 !! ,..0 !! ， ， ， Q5 :-2 P : !! PR4*G47 ,..0 （ ） !...?E,0.H,..0H-2 !! H12D0?.0 #IJ# KLMNOI# NOPOI# !,..0 I9’$ : K9A+ : N6 : 面向微系统的介电泳力微纳粒子操控研究! ） ） ） ） ） ! ! ! ! , 任玉坤 敖宏瑞 顾建忠 姜洪源 #$%$’ ()*+ !）（哈尔滨工业大学机电工程学院，哈尔滨 !-...!） , ）（西班牙塞维利亚大学电子与电磁系，塞维利亚 /!.!, 西班牙） （ 年 月 日收到； 年 月 日收到修改稿） ,..0 1 - ,..0 1 ,2 微系统中低浓度微纳粒子的操控技术亟需改进和完善，介电泳（ ）在这一领域具有很大的潜力 3’4546%78974+’+ : 以介电泳基本原理分析为基础，推导了介电泳力的复数表达式 综合分析了影响传统介电泳力和行波介电泳力的 : 主要因素，并建立星型电极和平行电极阵列的二维理论模型，分别作为传统介电泳力和行波介电泳力的微纳粒子 操控结构: 设置相应的边界条件，利用实部、虚部耦合求解的方法，仿真计算两种电极上的介电泳力分布规律，为 实验提供参数依据 以传统介电泳力为基础，利用星型电极进行微纳粒子收集实验；以行波介电泳力为基础，利用 : 平行电极阵列进行微纳粒子的提升与定向驱动实验: 对比分析可知，实验与理论以及仿真分析具有较好的一致 性: 结果表明，微系统中利用介电泳力能够有效地对微纳粒子进行相关操控: 关键词：微系统，介电泳，粒子收集，定向驱动 ： ， ， !## 1,/. /!!.; 2,,. 是指物体所受的介电力指向电场场强高的地方，物 !F 引 言 体有向高场强方向运动的趋势；负介电泳是指物体 所受的介电力指向电场场强低的地方，物体有向低 低浓度微纳粒子的快速收集与准确定位，是微 场强方向运动的趋势: 利用介电泳方法进行粒子操 电子机械系统以及芯片实验室（ ）研究 控具有很多优势，例如不会破坏被操控粒子的结构、 5)G?$?)?69’8 中的一个瓶颈问题，为此人们开发了多种微机械结 易与其他流体器件集成、操作方便、成本较低等 传