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ノート
蛍光 X 線定量分析における精確さの調査
佐藤 健* 毛利 敦雄*
Research on Accuracy of X-Ray Fluorescence Quantitative Analysis
SATOU Takeshi*and MOURI Atsuo*
1. 緒 言
0.1
平成 21 ～22 年度の実用研究「金属材料の元
素分析における精度調査」の中で，当センター ステンレス鋼
低合金鋼
の鉄鋼の定量分析における精確さの評価を実施 ） 0.01
％
した。定量値の精確さは，精度（測定値のばら （
差
つき）および真度（真値あるいは認証値と測定 偏
準 0.001
値との一致の程度）が JIS の規定を満足する必 標
1）
要がある 。
当センターの定量分析は，蛍光 X 線分析，炭 0.0001
0.01 0.1 1 10 100
素硫黄分析やプラズマ発光分光分析などで実施 成分含有率（％）
している。各種分析方法について，調査を行っ 図 1 並行分析精度
た結果，当センターの定量分析の精確さは，概
表 1 繰り返し測定精度（低合金鋼）
ね要求水準を満足していることを確認した。
平均 標準偏差 CV 測定値区間推定 小数点以下 有効数字
元素
本ノートでは，蛍光 X 線分析についての調査 (μ) (σ) (σ/μ) （95%） 有効数字桁 桁数
Si 0.419 0.0038 0.0090 0.419±0.003 3 3
結果を報告する。 Mn 0.426 0.0013 0.0031 0.426±0.001 4 4
P 0.0358 0.0009 0.0255 0.0358±0.0007 4 3
Ni 2.021 0.0051 0.0025 2.021±0.004 3 4
Cr 0.498 0.0010 0.0020 0.498±0.001 4 4
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