压电陶瓷微位移器件控制模型的研究.pdfVIP

第 10卷 　第6期 光学 　精密工程 Vol . 10 　No . 6 　　　　　　　　　 　　　　　　　　　　 2 0 0 2 年 1 2 月 Optics and Precision Engineering Dec . 　2 0 0 2 ( ) 文章编号 　1004924X 2002 压电陶瓷微位移器件控制模型的研究 曲东升 , 荣伟彬 , 孙立宁 , 徐 　晶 , 蔡鹤皋 ( 哈尔滨工业大学 机器人研究所 ,黑龙江 哈尔滨 15000 1) 摘要 :从不同角度介绍了压电陶瓷微位移器件的两种控制模型 。首先 ,借助于统计物理学分析 ,结合数 学建模方法 ,建立了一个简单实用的压电陶瓷的迟滞数学模型 。其次 ,借助于弹性体变形理论 ,介绍了 压电/ 电致伸缩陶瓷的归一化控制模型 ,从理论上说明了采用电极化强度的方法可以有效减小迟滞的观 点 。并设计了两种实验系统 ,对两种控制模型进行了实验验证 ,实验结果表明 ,所建立的两种模型可有 效减小压电陶瓷的迟滞非线性误差 ,提高压电陶瓷微位移的控制精度 ,有助于实现压电陶瓷驱动器的高 精度开环微位移控制 。 关 　键 　词 :压电陶瓷 ;控制模型 ;迟滞 ;极化强度 中图分类号 : TP224 　　文献标识码 :A Preisach 模型 ,FlANN 模型 ,多项式近似模型[2-4 ] 。 1 　引　言 Preisach 模型、隐含的数值预测算法 、滞回曲线的 小数指数幂曲线近似法 、循环滞回能模型、非线性 　　压电陶瓷微位移器具有体积小、位移分辨率 迟滞效应的广义模型等[5- 8 ] ,都有各 自的特点 ,在 高 、频响高 、承载力大 、无噪声 、不发热等特点 ,是 实用性上还需要进一步研究和完善 。这类方法理 一种理想的纳米微位移元件 , 获得了广泛应用 。 论上可以取得较好的效果 ,对系统进行精确的开 但是由于压电陶瓷的迟滞非线性效应 ,给压电陶 环控制 ,从而彻底避免因反馈而可能引起的不稳 瓷的控制带来了困难[ 1 ] 。目前提出的减少压 电 定问题 。因此 ,建立压电陶瓷精确控制模型 ,是提 ( ) 陶瓷迟滞的方法归纳起来主要有三种 : 1 采用各 高压电陶瓷微定位系统控制精度的可靠实用的途 种位移反馈实现闭环控制的方法 ,这种方法得到 径 ,因而也成为国内外微驱动控制领域许多学者 了认可 。但是 , 由于没有精确的控制模型 ,需要采 探讨的问题 。 用一些智能化的控制方法 , 因而控制系统比较复 本文首先利用统计物理分析的结果 ,通过数 杂 ,容易受到干扰 , 引起系统不稳定 ,迫切需要提 学方法建立了压电陶瓷迟滞数学模型 ;其次 ,利用 ( ) 高微定位系统的可靠性和实用性 。 2 采用电流 已有研究成果 ,给出了压电/ 电致伸缩归一化控制 源代替电压源 ,实现电荷控制方法 。关键是基于 模型 ;最后 ,对两种模型进行了实验验证 ,为提高 电荷控制的驱动电源的研究 ,但 由于压电陶瓷的 压电陶瓷微定位系统的控制精度进行有益的尝 内阻很高 , 因此充电电流小 ,响应时间长 ,使得这 试 。 种电源仅适合于静态场合 。这种方法受到电源局