激光圆偏振干涉纳米位移测量信号处理方法.pdfVIP

浙江理工大学学报，第30卷，第5期，2013年9月 of Sci—Tech Journal Zhejiang University V01．30，No．5，Sept．2013 文章编号：1673—3851(2013)05—0689—04 激光圆偏振干涉纳米位移测量信号处理方法 章淼凌，严利平，楼盈天。刘燕娜。陈本永 (浙江理工大学纳米测量技术实验室，杭州310018) 摘要：介绍激光圆偏振干涉纳米位移测量系统的光路结构，针对A／D误差和直流噪声引入的位移误差，提出 了基于正余弦信号切换的干涉条纹处理方法，以提高测量精度。设计基于FPGA和DSP架构的激光圆偏振干涉纳 米位移测量系统，其中FPGA主要用于信号的采集、大数计数及与上位机通讯，DSP主要用于小数计算。位移实验 m的测量结果其线性拟合相关系数为o．983 结果表明：在o～7肛m范围内，步长为100 6，标准差为1．88nm；在o～ 15 2，标准差为2．96 pm范围内步长为1pm的测量结果其线性拟相关系数为O．999 m。验证了所提出的干涉条纹 处理方法和信号处理系统能够实现纳米级位移测量精度的要求。 关键词：激光圆偏振干涉；纳米位移测量；信号处理；FPGA和DSP 中图分类号：TH74l 文献标志码：A A／D和直流信号噪声产生的误差，提高测量精度。 0 引 言 1 激光圆偏振干涉纳米位移测量系统光路 激光干涉仪具有测量范围大、精度高的优点，已 结构 被广泛应用于位移、速度、角度和直线度等方面的测 量[1。3]。目前对激光干涉信号主要采用现场可编程 激光圆偏振干涉纳米位移测量系统光路结构如 门阵列(FPGA)或数字信号处理器(DsP)进行信号 图1所示，激光器输出单频线偏振光，经过长轴与该 处理[4。6]。在信号处理中，由于存在A／D误差和直 线偏振光偏振方向成45。角的l／4波片Q。，变成圆 流信号噪声，使得信号在变化率较小处引入的误差 偏振光后射向偏振分光镜PBS。，被分成光强相同的 较大，现在所采用的方式一般都是通过正余弦信号 两路，反射分量射向参考镜R。后返回，透射分量射 求比值消除信号的幅值系数，并对形成的正切或余 向测量镜Rz返回，两者在PBS。处汇合后仍保持各 切函数进行相位计算[73；或对正余弦函数进行构建， 自的偏振态。合成光经高反镜M。反射，并通过长 形成一个线性函数再进行相位计算，以降低信号处 轴与该线偏振光偏振方向成45。角的l／4波片Q2 理的复杂度，但它会引人最大可达3％的非线性误 差[8]。大数计数采用可逆计数的大数计算方法，可 后成为两个圆偏振光，这束光经过两个普通分光镜 以防止信号抖动引入的大数误差[9。11|。 后分成三束光，分别经过P。、P。、P。三个检偏器后由 Dt、D2、D3三个光电探测器接收：检偏器P。的通光 本文综合FPGA可控制高速A／D进行信号采 方向与水平方向成平行，检偏器P：的通光方向与水 集和DSP易实