扩散真空泵性能自动测试系统的研制.pdfVIP

第46卷第6期 真 空 VACUUM Vo1．46．No．6 2009年 l1月 Nov．2O09 扩散真空泵性能 自动测试系统的研制 梁文升 ，张世伟 ，张志军，徐成海 (东北大学机械工程与自动化学院，辽宁 沈阳 110004) 摘 要 ：本文介绍了一套新研制的扩散真空泵性能的自动测试系统。该系统可 以按照国家标准规定的方 法 自动检测扩散真空泵的极限压力和抽速。系统利用 自主开发的光电液位检测方法和元件实现滴管液位 的自动读取和记时；利用步进 电机驱动针 阀实现气体流量和测试罩 内压力的 自动调节 ；使用上位 Pc机 和下位单片机的双级控制系统实现对整个测试系统和测试过程 的自动控制 。 关键词 ：扩散泵 ；性能测试 ；设备研制 ；自动测试 系统 ：抽速 中图分类号：TB752．42 文献标识码 ：B 文章编号 ：1002—0322(2009)06—0020—04 Developmentofan automatictesting system for diffusion pump performance LIANGWen—sheng，ZHANGShi—wei，ZHANGZhi-jun，XUCheng-hai rSchoolofMechanicalEngineeringAutomation，NortheasternUniversity，Shenyang110004，China) Abstract：A newly developed automatic testing system for diffusion pump perofrmance is described．The system can automatically testthe uhimate pressure and pumping speed ofa diffusion pump in accordancewith the NationalStandards． Taking advantages of the photoelectric liquid level testing method and relevant elements we developed，the system can automaticallytestand read the liquid levelin dropperwith rising timerecorded．A stepping motorisused toactuate aneedle valve SO asto implementthe autoregulation ofgasflowrate and the pressure in testing hood．A two-stage autoeontrolsystem comprisingan upperPC and a lowerchipcomputeristhusprovided tomonitorthetestingsystem andthe testing process． Key words：diffusion pump；performance；RD：automatictestingsystem；pumpingspeed 作为应用最广的高真空抽气设备…，油扩散 家 自己独立开展扩散泵性能测试增加 了难度 。‘ 泵在 国内的生产 、研究方面 已达到相当的技术水 针对这一现状 ，本文研制 了一套扩散真空泵 平和一定的生产规模 ，被广泛应用于机械 、电子 、 性能的 自动测试系统。下面将就该系统的测试原 冶金 、原子能 、空间模拟等工业领域和科学技术 理 、系统的硬件与软件构成 、研制过程所遇到的 研究中，为我国的科技发展做出了显著的贡献 2【j。 技术难点和解决措施作 以介绍。 近几年来，国内扩散泵产品从外观、功能到性能 1 自动测