用于微动工作台的光纤位移传感器设计.pdfVIP

2013年 第32卷 第 1期 传感器与微系统(TransducerandMicrosystemTechnologies) 115 用于微动工作台的光纤位移传感器设计 韦 宣，乐 静，申阿维，邵 伟 (西安理工大学 机械与精密仪器工程学院，陕西 西安 710048) 摘 要：针对微动工作台定位中遇到的位移检测问题 ，探讨 了一种反射式光纤位移传感器。通过分析光 纤耦合原理设计了发射接收光纤探头的结构；选择高亮度 LED和高灵敏度硅光电池，提高了传感器的抗 干扰能力和增强了信号强度；检测电路实现了对信号的去零、放大，从而提高分辨率，解决了这类传感器的 线性范围小所引起的不足。实验结果表明：在0~200m的量程内分辨率能达到亚微米级。 关键词：光纤位移传感器；亚微米；微动工作台 中图分类号：TP212．9 文献标识码 ：A 文章编号：1000--9787(2013)01--0115-03 Designofopticalfiberdisplacementsensorfor micromotionworktable木 WEIXuan，YUEJing，SHEN A—wei，SHAOWei (SchoolofMechanicalandPrecisionInstrumentEngineering，Xi’allUniversityof Technology，Xi’an710048，China) Abstract：A reflectiveopticalfiberdisplacementsensorisstudied，aimingatdisplacementdetectionproblems encounteredin positioningofmicromotion worktable．Transmittingandreceivingopticalfiberprobestructureis designedbyanalyzingtheopticalfibercouplingprinciple．High—brightnessLED andhigh—sensitivitysiliconphoto cellareselectedtoimproveanti—interferenceabilityandtoenhancesignal intensity．Thedetectingcircuitrealizes zero·suppression，andamplificationofthesignal，therebyimprovestheresolutionandsolvetheinsufficientdueto smallerlinearrangeofthesensors．Theexperimentalresultsshowthatsensorcanachievesub—micronresolutionin therange0～200 m． Keywords：opticalfiberdisplacementsensor；sub-micron；micromotionworktable 0 引 言 器具有一定的精度，本文将从光源、结构和测量电路等各个 随着科学技术的发展，更多的领域迫切需要精密微动 环节人手，采取有效的措施消除光源波动和外界背景光等 系统用于加工和测量。柔性支撑微位移机构是微纳米级定 对光纤传感器的干扰 ，并通过改进电路实现对信号去零、放 位工作台普遍采用的方法 ，在整个系统中，检测部分的准确 大，以增加传感器的灵敏度和分辨能力。 性直接影响整个系统精度和控制性能，迫切需要分辨率达 1 反射式光纤传感器测位移的原理 到亚微米级且价廉的微位移传感器。通过对各种非接触方