一种标定Soleil-Babinet补偿器的新方法.pdfVIP

第 36卷 第 11期 中 国 激 光 Vol|36，No．11 2009年 11月 CHINESEJ0URNALOFLASERS November，2009 文章编号 ：0258—7025(2009)1卜3015—05 一 种标定 Soleil．Babinet补偿器的新方法 王 军 陈 磊 尹嘉懿 师丽丽 (南京理工大学 电子工程-9光电技术学 院，江苏 南京 210094) 摘要 提出了一种高精度标定索累一巴比涅 (Soleil—Babinet)补偿器的新方法。在光谱扫描法测量系统中，将多级半 波片置于被测补偿器后 ，以半波片的延迟量为基准 ，高精度地标定出补偿器 的延迟量所对应 的测微丝杆位移 。该 方法利用光强透过率和波长的关系得到延迟量 ，避免了光强值直接测量法误差源多、精度不高的缺点；同时解决了 光谱扫描法不易测量零级相位器件的问题 。实验 中以工作波长为 633am 的多级半波片为基准 ，对 Soleil—Babinet 补偿器进行标定。分析表 明，该方法在确定延迟量为0和 的位置时，精度可达 0．45nm；o～ 范围之间的延迟量 最大测量误差仅为 3．2nm。 关键词 测量 ；Soleil—Babinet补偿器 ；光谱扫描法 ；分光光度计 ；延迟量 中图分类号 0436．3：TN247 文献标识码 A doi：10．3788／CJL2OO936l1．3O15 A New MethodforCalibration oftheSoleil-BabinetCompensator WangJun ChenLei YinJiayi ShiLili (SchoolofElectronicEngineeringandPhotoelectricTechnology，NanjingUniversityofScienceandTechnology， Nanjing，Jiangsu210094，China) Abstract A novelmethod basedon thescanningspectrum system isproposedtocalibratethecompensator．One multiple-orderhalfwaveplateiSaddedtobe usedasabe nchmarkoftheretardation．Anyretardationbetween0andA canbemeasuredinhighprecision．Themethodcanavoiderrorscausedbythelightintensitymeasuringmethod，and moreoveritcanmeasurethezero-orderreatrdationwhichthescanningspectrum methodhardlyaccomplished．In the experiment，acompensatoriscalibratedbasedonamultiple—orderwaveplateat633am ．Itisdemonstratedthatthe retardationmeasuringprecisioniS0．45nm in0and whilethemaximum erroriSlessthan3．2nm betweenthetwo positions． Keywords measurement；Soleil-Babinetcompensator；scanningspectrum method；spectrophotomer；retardation 1 引 言 此精确地标定 Soleil—Babinet补偿器是非常必要和 索累一巴比涅 (Soleil—Babinet)补偿器是一种相 有意义的。 位延迟量连续可