一种高精度激光光路自动准直系统的实现.pdfVIP

第 29卷第 5期 应 用 激 光 VOi．29，No．5 2009年 10月 APPLIED LAsER October2OO9 一 种高精度激光光路 自动准直系统的实现* 王 自鑫一， 李亨， 李佳 明， 蔡志岗， 赖天树 (巾山大学光电材料与技术国家重点实验室 ，广东 广州 510275) 提要 对高精度激光光路 自动准直系统 ，提出了一种更加精准 的四象 限探测器的信号处理算法 ，采用 四象限硅光 电二极管代 替传统的 CCD探测光线指向，运用 DSP技术处理探测信号 ，控制惯性压 电陶瓷 电动调节架快速 自动准直 ，精度可达 lrad。 该系统很好地解决 了传 统的 CCD探测光线方法 中的处理速度慢 、校正精度低 、占用 资源大 的问题 。飞秒激光实验应用证 明， 系统能够实现激光光路的快速 自动准直 。 关键词 四象限光电二极管； 惯性压 电陶瓷； 激光准直 中图分类号 ：TN242，TP273．2 文献标识码 ：A ImplementofaHigh Precision LaserBeam AutomaticCollimation System W angZixin。 IiHeng， LiJiaming， CaiZhigang， IaiTianshu (StateKeyLaboratoryof0ptoelectroni{、Materialsand丁P(hnologiesSunYat—sellUniversity，Guangzhou， GuangdonK 5lO275 China) Abstract A highprecision laserbeam automaticcollimationsystem andamoreprecisesignalprocessingmethodoffour—quad— rantphotoelectricdetectorwasproposed．Thesystem usesfourquadrantSilicon PhotodiodeinsteadofCCD tO detectIaser beam direction，DSP tOprocessthesignalandcontroltwo inertialpiezoelectricdrivingmirrorstO correctthe laserbeam auto— maticallywiththecontrolprecisionlprad．Thissystem issuperiortotraditiona1CCD methodinitshighprocessingspeed，good controllingprecisionand lesshardwareand softwareresourceoccupancy．Theapplicationin {emtosecond(fs)laserexperiment provedthissystem canrealizeautomaticcollimationfastandprecisely， Keywords fourquadrantphotodiode； inertialpiezoelectricceramics； lasercollimation O 引言 上位机进行 USB联机实现实时监测功能。 随着现代光学技术 的发展 ，越来越多 的激光物 l 系统工作原理 理实验 对 激光 束 的指 向稳 定 性 提 出 了严 格 的要 激光光路 自动准直系统 的工作原理 图如 图 1所 求 。而现有的激光光路准直装置 ，一般是采用 电 示 ，图中带箭头实线表示光路走向，带箭头虚线表示 荷耦合器件 (CCD)探测激光束 的位置，然后用 PC 电信号走 向；M1、M2为全反镜 ，固定于压 电陶瓷 电