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第 29卷 第 9期 光 学 学 报 Vo1．29，No．9 2009年 9月 ACTA OPTICA SINICA September，2009 文章编号 ：0253—2239(2009)092615—04 30．4nm波长处 Mg基多层膜反射镜 白亮 朱京涛 徐 敬 黄秋实 吴文娟 王晓强 王占山 陈玲燕 (同济大学精密光学工程技术研究所物理系，上海 200092) 摘要 太 阳光谱 中重要 的He一Ⅱ谱线 (波长 3O．4nm)的观测对于研究太 阳活动和 日地空间环境具有重要意义 ，实 现空间极紫外太 阳观测需要采用多层膜作为反射元件 。研究了工作在 3O．4nm 的 Mg基多层膜 。以反射率最高 为评价函数设计 了多层膜 ，采用直流磁控溅射技术制备 了SiC／Mg，BC／Mg和 C／Mg多层膜 ，用 x射线衍射仪测 量了多层膜的结构 。研究表 明虽然 B4C／Mg多层膜理论反射率最高，但实际制备结果显示 ，SiC／Mg多层膜的成膜 质量最好 ，反射率最高 。同步辐射反射率测量表 明：在入射角 1O。时实测的SiC／Mg多层膜反射率为 44．6 。 关键词 薄膜光学 ；多层膜 ；磁控溅射 ；极紫外 ；He—II谱线 ；反射率 中图分类号 0434；TB43 文献标识码 A doi：10．3788／A0S2OO929O9．2615 M ultilayerFilm ReflectiveMirrorat30．4nm BaiLiang ZhuJingtao XuJing HuangQiushi WuWenjuan WangXiaoqiang WangZhanshan ChenLingyan (InstituteofPrecisionOpticalEngineering，PhysicsDepartment，TongjiUniversity， Shanghai200092， ina) Abstract 0bservationoftheHe．IIspectrum atthewavelengthof30．4nm ，akeyspectrum insolarspectrum ，iSof greatsignificancein investigatingsolaractivityandspaceenvironment．Multilayerfilm reflectivemirrorsareusually adaptedinsolarobservationatextremeultraviolet(EUV)waverange．Reflectionatthewavelengthof30．4nm of themultilayerfilmscomposedofMgisstudied．Themultilayerfilm isdesignedusingevaluationfunctionexpressing ashighestreflectivity．SiC／Mg，BC／Mg，C／Mg multilayerfilmsarefabricated byusing directcurrent(DC) magnetronsputtering．andthemultilayerstructuresaremeasuredusingX—raydiffractometer．Themultilayermirror ofB4C／Mghashighestreflectivity in theory butSiC／Mg multilayerfilm hasthebestqualityandthehighest reflectivityin practice．ThereflectivityofSiC／Mg multilayer mirror wasmeasured by the reflectometer in synchrotr