纳米硅薄膜太阳能电池的制备及特性研究.pdfVIP

第30巷 第6期 江 西 科 学 Vo1．30No．6 2012年 I2月 JIANGXI SCIENCE Dec．20l2 文章编号：1001—3679(2012)06—0784—05 纳米硅薄膜太阳能电池的制备及特性研究 吴闺生，欧阳晓芳，李 荣，刘澄宇，查国君，刘 波，朱桂新 (新余学院新能源科学与工程学院，江西 新余 338004) 摘要：主要讲述了单晶体硅电池、多晶体硅电池、微晶硅电池及薄膜硅电池的性质及特点，同时介绍 了硅太阳 能电池的发展历程；讲述了纳米硅薄膜太阳能电池的等离子体增强化学气相沉积制备及沉积理论；论证了H 稀释浓度对硅纳米薄膜太阳电池性能的影响；阐述了沉积气压和衬底温度对薄膜性能的影响；最后讲述了透 明导电薄膜在薄膜太阳能电池中的应用情况及光学性质。 关键词：纳米硅薄膜；等离子体增强化学气相沉积；沉积理论；性能 中图分类号：TM914．4 文献标识码：A ThePreparation andPropertiesStudyofthe SiliconNanocrystalsFilm SolarCell WURun—sheng，OUYANGXiao—fang，LIRong，LIUCheng—yu，ZHAGuo-jun，LIUBo，ZHUGui—xin (DepartmentofNewEner~ ScienceandEngineering，XinyuCollege，JiangxiXinyu338004PRC) Abstract：Westudythepropertiesofthemonocrystalline，polycrystalline，microelystalline，thinfilm solarcell，andintroducethedevelopmentofsiliconsolarcel1．Theplasmaenhancedchemicalvapor depositionmethodanddepositiontheoryonsiliconthinfilm solarcellarediscussedbyUS．Theper一 ~rmancinfluenceoftheH dilutionconcentrationonsiliconnanocrystalsfilm solarcellisdemonstra— ted．Itisreportedonthecorrelationofthefilm performanceandthedepositionpressureandthesub— stratetemperature．Finally，wediscussedtheapplicationofthetransparentconductivefilm inthethin film solarcelltheandtheiropticalproperties． Keywords：Nanoerystalssiliconthinfilms，PECVD，Depositiontheory，Property 划，把光伏发电作为人类未来能源的希望。自 0 引言 1954年美 国叹尔实验室制备了第 1块 6％硅太阳 随着工业化及城镇化步伐的加快，矿物质等 电池及 20世纪70中东石油危机以来 ，硅太 阳电 传统能源 日趋短缺，以至不能满足人们生活及生 池的研究进入 了一个格外备受关注的时代。 产的需要，因此可再生能源备受关注。由于太阳 单、多晶体硅太阳能电池光电转化效率高，它们 能是一种取之不尽、用之不竭的无污染的清洁能 在实验室的最高转换效率分别是24．7％和20．3％， 源，世界各国政府把研究与开发太阳能作为可持 虽然它们的