S型延迟线结构的设计及研究.pdfVIP

, ,., , ? . . ∞ . . . . 。 ,、 .. , , .? 鼬 . . :。 翘 型延迟线结构的设计及研究 陈颖朱嘉林李永刚 ,北京信息科技大学,健翔桥校区,理学院 ,北京信息科技大学,键翔桥校区,自动化学院 选用 ,作为基底材料制作出了谐振频率为的型声表面波延迟线结构。通过采用双通道结构来 减小温度漂移带来的影响,将延迟线设计成型结构,通过改变声表面波传播路径来抑制体波干扰,减小三次行 程信号。为获得较好的旁瓣抑制,应尽量抑制谐波,特别是三次谐波的激发,采用单指条的叉指换能器,设其金 属化比玎为.。经测试,该器件输出的信号在中心频率处较为平滑,极大的抑制了三次渡越问题和体波干扰,这 种结构可以减少温度漂移带来的影响,这对于提高声表面波延迟线振荡器输出频率的稳定性和测量时的准确性起 到了极其重要的作用。 , 关键词:声表面波,叉指换能器,延迟线 器敏感膜材料对声波的吸收的影响比利用延迟线要 . 引言 大,导致声波有较大的衰减,从而增加了传感器检测的 不稳定性.同时谐振器型振荡器易受外围电子线路相 ..及 自从年 .在压电基片上 位的影响。 以产生 制作叉指换能器 延迟线型振荡器利用的是晶体表面的弹性 表面波后,使得声表面波元件广泛应用于工业界,在 波,不涉及电子的迁移过程,抗辐射能力强,其缺点 通信、雷达、信号处理等领域有着广泛的应用。现在 是要求在一定的净化条件下完成制作工艺。工作频率 声表面波技术已经发展成为集声学、光学、电子学和 愈高,对制作工艺的要求就愈高。合理设计声表面波 半导体平面工艺相结合的一门新兴的学科。自世 延迟线的结构对于提高声表面波延迟线振荡器输出 纪年代起开始研制开发基于声表面波器件的新型 频率的稳定性【】和测量时的准确性将起到极其重 传感器。作为声表面波传感器的关键元件, 要的作用【】。但常采用的“一”字型差分结构【】其 振荡器的谐振频率的稳定性决定了传感器的灵 易受到温度的影响,在传播过程中存在三次渡 敏度。目前应用于传感器的振荡器大致有两种,一种 越问题和体波干扰问题,针对这些问题,本文提出了 ’是延迟线型振荡器,另外一种是谐振器型振荡器。 一种型双通道延迟线结构,可有效避免上述问题, .】及.】及等人先后对这两种类 提高器件稳定性。 型的振荡器的性能进行了对比,谐振器具有高品质因 数和低损耗的特点,由它作为频控元件组成的振荡器 容易.起振,但是谐振器利用了声波的多次反射。传感 一//. . 型双通道声表面延迟线结构的设计 荡器的差频,可以基本上克服环境温度的影响。目前 所见的报道中声表面波延迟线多采用“一”字型差分 .声表面波传感器基本原理 结构,但是这种结构则存在三次渡越问题和体波干扰 声表面波传感器的基本原理是,在压电材料表面形成 问题。利用矩阵法】推导了“一”字型双声路声 ,构成振荡器或谐振器,适当设计振 表面波器件和型双声路声表面波器件的三次渡越 荡器或谐振器,使其对微细的待测最敏感。一般是使 反射和五次渡越反射,从理论上证明了采用型双声 待测量作用的传播路径,引起传播速度发 路声表面波传感器件能有效地减少二阶效应。 生变化,从而使振荡频率发生变化,通过频率变化来 综合考虑,本文设计了一种新的型结构,如图 检测待测量。 所示。这种结构在输入和输出之间加了 双声路耦合器,通过它解决三次渡越问题和体波干 .声表面波延迟线振荡器 扰。叉指换能器激发的声表面波,从一条声路传到多 条耦合器上时,由于正压电效应通过多条偶合器的金 声表面波振荡器也称声表面波延迟线振荡器,它主要 属膜条,将声能转换成电能,并将此电能传导到多条 由一组声表面波发射、接受换能器和反馈放大器组 耦合器的另一部分。由于逆压电效应又使电能转换成 成,如图所示。 声能,在预定的轨道向预定的方向传播,由于改变了 收 发 声表面波的传播声路,很大程度地抑制了体波和三次 行程信号。 呻上呻 图.声表面波延迟线型振荡器结构. . 佗. . 图.型结构. 由发射换能器发射的表面波经过媒质延迟线被 . 咖他. 接收换能器接收。接收的信号经过放大器放大,再反 馈到发射换能器构成振荡回路。当放大器的增益可以 图中为器件的输入叉指换能器,和为 补偿延迟线的损耗同时又满足一定的相位条件时,振 双声路耦合器,】和为输出叉指换能器。型声 荡器就可以起振,其振荡条件是: 表面波延迟线所选用的压电基底材料要有较高的机 ≥ 电耦合系数和较低的温度系数,这样才能确保其组成 中① 的振荡电路具有较高的频率稳定性,并提高分辨率, 式中:彳是放大器增益,厶是延迟线的传播损耗,厶 减小测量误差。在这里选用 作为基底 是叉指换能器的双向损耗,厶是放大器与叉指换能器 材料,物理性质如下【】:熔点:℃,居里温度: 之是放大器网络与叉指换能