不同晶体对称类的栅条反射系数的理论与实验研究.pdf

Ⅳ盯垤 ,?? / /, , . . 明 . . . . . . , : , 不同晶体对称类的栅条反射系数的理论与实验研究 徐方迁金步平 浙江传媒学院 对四方/、六角/和三角等晶体栅条反射系数进行了详细理论分析,给出具体的数学表达式,不 同于已有的立方栅条反射系数理论计算公式。根据理论分析结果给出旋转切传基片上的 铝短路反射栅和沟槽的反射系数。并用实验方法研究了。基片上的沟槽填铝短路反射的反射特性,得 到了内反射为零的条件。证明了在基片上可用沟槽填铝单指结构实现无内反射的结论。将上述结果 应用于单指无内反射滤波器的研制,得到了中心频率、带宽约、带内畸变小于.的带通滤波 器。 关键词:声表面波,反射系数,耦合模,栅条 必满足所求问题的精确边界条件,尝试解中相对大 . 引言 的误差在所求的量中引起较小的误差。何世堂【】 将此方法推广到各向异性晶体,得出反射系数是一 声表面滤波器的研究进入九十年代形成一次高潮, 个复数,并获得了实验验证。进而由该理论出发, 为满足移动通讯发展的要求,必须实现低插损。为 提出了单指无内反射滤波器理论,使得在相同工艺 此,工程上需要采用单相单向换能器、横向和纵向 条件下可将器件工作频率提高一倍,并已运用到实 滤波器以及梯形谐振滤波器等低插损结构卅。 际器件中。 而这些结构的实现必须利用以前被当作二阶效应 但是,无论是文献】在各向同性晶体中还 而加以抑制的指间多次反射效应。为此提出了耦合 是文献】在各向异性晶体中都只给出了立方 模式.模型【】,为低插损滤波 如金、铝、银等金属栅条的反射系数计算公 器设计提供了较好的分析工具。在低插损滤波器和 式,而没给出四方/,六角/如铟、钛 模型中,关键参数是反射系数】。 金属栅条和三角如、石英沟槽 年陈东培和..【】从波动方程出 等反射系数计算公式,他们都用立方如金、 发,导出声表面波在栅阵结构中的变分表达式,并 铝、银等金属栅条的反射系数计算公式去计算三 将此变分表达式与耦合模方程结合起来,得到仅与 角如、、石英沟槽等不同晶体 晶体材料参数有关的反射系数表达式,包含压电短 对称类的栅条反射系数。本文详细推导了不同晶体 路效应与力学负载效应。然后,在假设晶体是各向 对称类的栅条反射系数的理论计算公式。根据理论 同性的近似情况下,计算出几种常用晶体的反射系 分析结果给出旋转切传,基片上的 数。该方法的主要优点是绕开复杂的格林函数,不 ?.//.Ⅱ. . 理论推导 铝短路反射栅和沟槽反射栅的反射系数。我们用实 验方法分别测量了 基片上的铝和沟槽 滤波器栅条反射系数可以表达为【 两种栅条的反射系数随膜厚或沟槽深度的变化关 系。制作了一沟槽填铝短路反射栅,测得其反射系 ‘所导尺。 数,证明两种栅条的反射系数相位确实相反。得到 其中如形五是力学负载的贡献:为压电短路贡 了内反射为零的条件。证明了在 基片 献。文献已给出由压电短路贡献的反射系数 上可用沟槽填铝单指结构实现无内反射的结论。将 的具体表达式,本文不再讨论。根据陈东培和 上述结果应用于单指无内反射滤波器的研制,得到 理论可以证明由力学负载贡献的反射系数 了中心频率、带宽约、带内畸变小 于.的带通滤波器。 呲锗一如刍∞ . 材料特性 其中 对称类为立方晶体和六角/、四方 ,, /及三角晶体的弹性常数是不一样的。 具体是】: 纠一三盟‰警威 、..立方 三 。 一咖。和甜黜 咖舻 一:表面波波数;%:表面波速度; :基片 % 的密度;”振动位移;指条的宽度。’和。村是栅条的密度和弹性常数。.六角/、四方/ 上式中的守。。材娑出展开后为: “ 了挚懈娑出:了錾。警 “ % % ‘ ∽ 警::警警,警 . 三角 警.掣警娑,掣拳 一 学:。謦拳油我们忽略基片的压电性,只考虑基片是各向异性 一 的,并取振动位移的尝试函数为: % 材∑。肼哦。 立方是三个常数,三角和四方/ 是六个常数,六角/是五个常数。在这里我 们把六角/和四方/归为一类、是因 甜夕’∑二戚。鼬 为它们的弹性常数矩阵元素中除了以外形式上 将式和式及立方晶体如金、银、铝的 其它均相同。而在下一节的理论推导中,各种类型 弹性常数代入式得到晶体对称类为立方金 栅条反射系数的理论推导中都不用。晶体的弹 属栅条的反射系数: 性常数不一样会导致栅条反射系数的理论计算公 式不同,下面从理论上详细说明这个问题。 ‰一等鬟卷甜∽ 略善善生苎痞紫 上式文献【】已给出,其中 ,圭嘱’艺以’杰匕,∑, //为栅条常数。 晶体如铟、钛的弹性常数代入式首次得到晶体 ‰一焉菇 爱稽’ 珞馅善型背 将式、式和三角晶体如、 . 轮一竖鼍《筮挚 咖善善等表兰≮产 . 嗌丛墨:±:±兰: 唾痞等器泸 其中∑%‘。注意到、和式各不一样。 若考虑基片的压电性,只要将、