谈硅烷法制备太阳能级多晶硅的工艺.pdfVIP

2011年9月 谈硅烷法制备太阳能级多晶硅的工艺 21 谈硅烷法制备太阳能级多晶硅的工艺 肖全松 张 纯2 (1．江西赛维 LDK光伏硅科技有限公司生产技术部 ； 2．江西赛维LDK光伏硅科技有限公司公用工程部) 摘 要 ：本文综述了硅烷热解法制备多晶硅的几种工艺，特别是对于硅烷的制备方法 进行了详细的探讨。如Kom~su硅化镁法、碱金属氢化物中的硅烷法和氟化硅以及Umon Carbide的歧化法。同时，还介绍了Ulmer法和Cadre电化学制备硅烷的方法，指出Na2siF6 法是一种比较优秀的路线。 关键词 ：多晶硅 硅烷法 太阳能级 工艺 利用非污染的能源是当今世界最热门的课题。太 德山(Tokoyama)；但投资高、能耗大、产品成本高。 阳能具有非污染和储量丰富的特点，所以太阳能作为 热解硅烷法：该法是利用硅烷热分解的方法制备 能源受到人们的高度重视，太阳能发电技术被认为是 多晶硅。由于其反应温度低、转化率高等优点，已经是 当今世界上最有发展前景的新能源技术。目前影响太 众多多晶硅企业的研发的首要 目标之一。 阳能发电技术快速发展的主要原因仍在于制备太阳能 冶金法、氯硅烷还原法等新工艺是在光伏产业迅 发电设备的主要材料——多晶硅的生产成本较高，约 猛发展的条件下产生的多晶硅生产工艺，很多工艺还 占太阳能发电总成本的50％。it] 处在研究阶段，参与市场竞争还需要一定的时间。 最近几年，Waker、Hemlock和国内的中能、赛维等 2 热解硅烷法概述 大型多晶硅生产企业的不断扩产，使多晶硅已经由过 硅烷法是以硅烷为提纯的中间产物，经过热分解 去的暴利阶段进入了品质和成本的竞争阶段。而多晶 制取多晶硅的方法。该方法的主要步骤是制备中间产 硅的生产工艺因为改良西门子法以其工艺成熟的特点 物硅烷，主要制备方法有：(1)Koma~u硅化镁法：使 被广泛采用。由于硅烷法制备多晶硅工艺具有分解温 Mg2Si与NHC1在液氨中反应生成硅烷。这种方法原 度低、对设备腐蚀性低等特点，使其具有投资少 、能耗 料耗量大、成本高、危险性大。(2)碱金属与氯硅烷或 低、成本低、无污染等优点，已经引起 了多晶硅制备企 siF4法 ：MEMC以siF4与N~dH,为原料制备硅烷，该方 业的关注，而且已经被成功应用。 法由美国MEMC公司采用。(3)歧化法。歧化法是 目 因此 ，本文综合相关的资讯 ，对硅烷法制备多晶硅 前制硅烷的主要方法。J 的工艺进行探讨。 下面逐一阐述这几种方法的工艺过程。 1 多晶硅生产工艺概述 3 热解硅烷法工艺 现有的多晶硅生产工艺技术主要有：改 良西门子 3．1 Kommsu硅化镁法… 法、硅烷法、氯硅烷还原法(Na还原法、zn还原法、等离 该法是以Ms2si和 N cl在其液氨溶剂 中在0~C 子氢还原法)、流化床法、重掺硅废料制备法、冶金级硅 以下反应来制备硅烷，硅烷经提纯后进入热解反应炉 精炼法(湿法精炼、火法精炼和定 向凝 固)和其它方 中热解来制备高纯多晶硅。该工艺涉及到的化学反应 法。[2、3] 如下： 改良西门子法是在西门子法(1955年开发)的基础 Mg2