MEMS技术课程群教学改革的实践与探索.pdfVIP

总第210期 课程教材 DOI编码：10．3969／j．issn．1007-0079．2011．23．049 MEMS技术课程群教学改革的实践与探索 石云波 唐 军 郭 涛 丑修建 刘 俊 摘要：本文根据中北大学微 电子专业的特点以及MEMs技术的发展需求，对微电子专业的MEMS课程群的设置进行了研究和探索，从课 程体系的整合、教学内容的组织、教学方式与教学方法以及教学团队与试验基地的建设等方面进行了详细讨论，提出了具有本专业特色的教学体 系，在实施过程中取得了一定的成绩，使学生的理论知识和实践技能得到了提高。 关键词：MEMS技术；教学改革；微电子专业 作者简介：石云波 (1972-)，男，山西运城人，中北大学电子与计算机科学技术学院，副教授；唐军 (1981一)，男，四川资中人，中北大学电子 与计算机科学技术学院。讲师。(山西 太原 030051) 基金项 目：本文系中北大学教改项目“MEMS原理、设计、加工与测试专业课程综合教学方案探讨”的研究成果。 中图分类号：G642．3 文献标识码：A 文章编号：1007—0079(2011)23—0099—02 微电子学是电子学的一门分支学科，主要是研究电子或离子在 真软件，内容涉及器件的结构设计、静态仿真、动态仿真、耦合场 固体材料中的运动规律及其应用，并利用它实现信号处理功能的学 仿真等；MEMSI艺主要讲授体硅加工工艺、表面加工工艺以及 科。它以实现电路和系统的集成为目的。微电子学又是信息领域的 LIGA-V艺，并以具体实例讲授器件的系统加工工艺；MEMS设计讲 重要基础学科，在这一领域上，微电子学是研究并实现信息获取、 授MEMS器件的工作原理、器件的设计中的力学知识、流体与力学 传输、存储、处理和输出的科学，是研究信息获取的科学。1【在我国 器件的设计理论、封装设计等；在第6学期的课程设计阶段结合课 开设微电子学的—本高校有清华大学、中国科技大学、北京大学、 程学习内容，用凋 时间设计1个MEMS器件，要求进行结构设计、仿 复旦大学等，这些学校的重点在于培养学生掌握集成电路和其他 真、以及工艺设计与工艺仿真，进行课程人融会贯通；在第7学期， 半导体器件的分析与设计方法，使其具有独立进行版图设计、器件 系统的讲述用于微纳器件的高精度测试技术，主要包括光学显微 性能分析和指导VLSI-V艺流程的基本能力。中北大学的微电子专业 测试、电镜显微测试与探针显微测试等。 成立于2004年，在成立伊始，结合中北大学教师在微电子领域的科 该课程体系横向覆盖了MEMS领域的设计、加工与测试三大内 研优势，把我校的微 电子定位于微机电系统 (MEMS)，主要培养能 容，纵向以MEMS力学传感器件为主要例子，使学生学习后对MEMS 在微电子学、微机械 电子系统 (MEMS)、光 电子科学等领域从事科 器件有一个清晰的理解与掌握。同时，该课程体系理顺了各门课程 学研究、教学、产品设计、工程技术、生产管理等工作的工程技术 之间的教学内容，明确了各课程的任务和地位，既包含了所有的知 人才。该专业的基础课程与大多数微电子专业类似，专业特色课程 识要点，又避免了课时的浪费，结合设计性实验、验证性实验和综 群包括MEMS设计、MEMSCAD、MEMST_艺与微纳测试四门课程， 合性实验的开展，使得整个课程群系统性、完整性、实践性得到了 这四门课程的内容既具有自身的完整性，又有一定的交叉，课程 内 明显提高。 容相互关联、相互渗透。因此，在讲授过程中，需要优化课程体系， 二、教学方式与教学方法 通过课程群的建设提高教学效率，同时使学生对课程中的关键点 1．采用多媒体教学方式 达到