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第 31 卷 第6 期 天 津 工 业 大 学 学 报 Vol.31 No.6
圆园12 年12 月 韵哉砸晕粤蕴 韵云 栽陨粤晕 陨晕 孕韵蕴再栽耘悦匀晕陨悦 哉晕陨灾耘砸杂陨栽再 December 2012
显微视觉技术在微细加工中的应用
1，2 1 1 1 1
李丽宏 ，张明路 ，孙凌宇 ，张建华 ，魏 智
， ，
1. 河北工业大学机械工程学院 天津 300130 ；2. 河北工程大学信息与电气工程学院 河北邯郸 056038）
： ，
摘 要 面向微细加工设计显微视觉系统 同时结合力觉传感器共同控制微细加工的操作过程. 针对显微图像中噪
， ，
声也被放大的特点 在自动聚焦处理中提出了一种新的强噪声聚焦评价函数处理方法 即在中值滤波和双
， ， ，
边滤波后 采用分水岭算法对滤波图像进行过分割处理 对分割的各小区域求取其均值 用均值代替此区
， ； ， ，
域内像素灰度值 再 用SML 聚焦评价函数进行自动聚焦 同时 为了避免回程间隙而损失定位精度 在搜
， ， 用相对矩对目标进行识别 ，本系统能快速
索方式上 采用精度较高的三次样条插值定位方法 . 实践表明
，
准确地确定刀具与加工工件之间的三维距离 完成微细操作控制过程.
： 微细加工；自动聚焦；目标识别
关键词 显微视觉；
： ： ：
中图分类号 TP391.4 文献标志码 A 文章编号 远苑 原园圆源载 圆园12）园6原园园60原园4
Application of micro-vision technology on micro-fabrication
LI Li-hong 1，2 1 1 1 1
，ZHANG Ming-lu ，SUN Ling-yu ，ZHANG J ian-hua ，WEI Zhi
1. School of Mechanical Engineering ，Hebei University of Technology ，Tianji n 300130 ，China ；2. School of Information
and Electronic Engineering ，Hebei University of Engineering ，Handan 056038 ，China）
Abstract ：The
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