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·58 · M echan ical Electrical Engineering M agazine Vol. 22 No. 11 2005 机电工程 2005年 第 22 卷 第 11期
超精密双面抛光机控制系统的研究
1 2 2
胡晓珍 ,胡晓东 ,李 伟
( 1. 浙江海洋学院 ,浙江 舟山 3 16000; 2. 浙江工业大学 ,浙江 杭州 310014)
摘 要 :介绍了超精密双面抛光机的控制系统 ,对其实现方法进行了研究 ,分析了控制系统的
组成 ,提出并建立了基于微机统一控制系统的解决方案 。采用 W indow s软件平台 , 图形化界面功
能指示 、高精度光栅传感器 、压力传感器 、数字阀组成电气联合控制系统 ,应用新型电气直接数字控
制技术实现该机的自动加工 。
关键词 :超精密 ;双面抛光 ;直接数字控制
+ +
( )
中图分类号: TP273 . 5; TG580. 23 . 5 文献标识码 :A 文章编号: 1001 - 4551 2005 011 - 0058 - 05
C on trol Sy stem of the Ultra prec ision D oub le Polish ing M ach ine
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HU X iaozhen , HU X iaodong , L IW ei
( 1. Z hej iang O cean Un ivers ity, Z houshan 316000, Ch ina; 2. Z hej iang Un ivers ity of Technology, H angzhou 310014, Ch ina)
Ab stract: In th is p ap er, the con tro l system of the u ltrap recision doub le po lish ing m ach ine is introduced, its realiza
tion m ethod is studied, its structu re is analyzed as well a s the solution ba sed on the compu ter un ited con trol system is p ro
po sed and e stab lished. The polish ing m ach ine is compo sed electricga s un ited con tro lled systim by u singW indow s software
p latform , graph ic interface function indicator , h igh accu racy grating sen sor , p re ssu re sen sor and num erical valve, et al. It
realized au tom atic m anufacture by the newfash ioned technology is straight num erical contro
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