统计过程控制在晶闸管制造中的应用.pdfVIP

实用技术 统 王峰瀛 范晓波 耿涛 西安 电力电子技术研究所 陕西西安 710061 摘要：统计过程控制(SPC)技术已广泛用于半导体器件生产’采~qSPC技术可以提高半导体器件的质量和可靠性。利用控制图可以监控生产过 程状态，对生产中出现的异常及时进行分析、改进，使半导体器件工艺的生产过程处于受控状态。本文介绍了sPc技术的基本概念和技术控制流程、常 规控制图及其分类以及引用的国家标准。并以磷扩散工艺为例，阐明了该技术在晶闸管生产中的应用。 关键词：统计过程控制 控制图 晶闸管 1 引言 UCL A 所有产品和服务都是过程的结果，生产过程是影响产品质量 B 的关键，在确保设计质量的前提下，产品质量在很大程度上决定 C CL 于生产过程质量。晶闸管制造是一个极其复杂的生产过程，从扩 C 散、光刻、烧结、蒸发到表面造型大约有几十个工序，特别是现 B 在大多数半导体企业生产方式 已经从 “库存式生产”转 向 “订单 A LCL 式生产”，极大地增加了生产过程的复杂性。基于晶闸管生产工 艺的特殊性、复杂性，以及部分过程检测的破坏性，只能在工艺 图1控制图的分区 完成后通过测试获得最终结果，所以必须对过程工艺数据做好统 (1)工艺过程受控的判断规则。工艺过程受控的判断规则为：1) 计控制 ，监控工艺过程 ，做好预测 ，为高成品率创造条件 。 点子在中心线周围随机分布；2)点子在控制限内；3)无异常模式或 统计过程控制 (StatisticalProcessControl，简称SPC)就是将 趋势；4)过程稳定可预测，则可认为过程处于统计过程控制状态。 显著性检验原理应用于控制生产过程，对生产中的各个阶段进行 (2)工艺过程失控的判断规则。工艺过程失控的判断规则为： 评估和监控，科学的区分出生产过程中产品质量的随机波动与异 1)1点落在A区以外；2)连续9点落在 中心线同一侧；3)连续6点递 常波动，从而对生产过程的异常趋势提 出预警，以便生产管理人 增或递减 ；4)连续14点中相邻点上下交替；5)连续3点中有2点落在 员及时采取措施 ，消除异常，使生产过程处于可接受的、稳定的 中心线同一侧的B区以外；6)连续5点中有4点落在 中心线同一侧的 状态，从而达到提高和控制质量的 目的，保证产 品与服务符合规 C区以外}7)连续15点落在中心线两侧的c区以内；8)连续8点落在 定要求的一种质量管理技术。 中心线两侧且无1点在C区以内。 (3)SPC技术是要在建立SPC体系的基础上，应用数据统计分 2．SPC技术 析手段，解决与质量管理相关的技术问题。就晶闸管而言，SPC SPC技术就是利用数理统计分析理论，对连续采集的多批过 技术主要包含：1)关键工艺过程节点及关键工艺参数的确定，包 程参数数据进行定量的统计分析，对过程是否处于受控状态作出 括扩散、光刻、烧结、表面造型等；2)I艺参数数据采集，包括 定量的结论。统计过程控制主要解决两个问题：一是利用控制图 材料参数、设备参数、环境参数、工艺参数等。值得注意的是在 分析过程的稳定性，对过程存在的异常因素进行预警；二是通过 采集数据之前，应首先保证采集数据的测量系统是可接受的，否 计算过程能力指数