多晶硅还原炉电气系统研制及其实际应用.pdfVIP

加热设备 工业加热 第37卷2008年第6期 多晶硅还原炉电气系统研制及其实际应用 安连祥 ，高丽萍2 (1．河北工业大学，天津 300130；2．北京三义电力电子公司，北京 102613) 摘要：介绍了多晶硅还原炉电气系统的主要设备，着重分析了预热调压器和还原调压器的工作原理，并且提出了一种新型的还原调 压器设计思想，减少了谐波含量，提高了功率因数。最后说明了多晶硅还原炉调压器的计算机操作系统的功能。 关键词：多晶硅还原炉电气系统；预热调压器；还原调压器；计算机操作系统 中图分类号：TM423 文献标志码：A 文章编号：1002—1639(2008)06-0058—03 ResearchandApplicationofPolysiliconReducingFurnaceElectricalSystem AN Lian—xiang。GAOLi-ping (1．HebeiUniversityofTechnology，Tianjin300130，China；2．BeijingSanyiPowerElectronicsCompany，Beijing102613，China) Abstract：Thispaperinrtoducesthemajorequipmentofthepolysiliconreducingfurnaceelectricalsystem，andemphasizestheworkingwin· ciplesofpreheatingvoltageregulatorandreducingvolatgeregulator．Italsoprovidesanew ideasofdesigningreducingvolatgeregulator, whichcanreducesharmoniccontentandimprovepowerfactor．Intheend，htearticleshowsthefunctionofthecompmeroperatingsystem． Keywords：polysiliconreducingfurnaceelectricalsystem；preheatingvoltageregulator；reducingvolatgeregulator；computeroperatingsystem 多晶硅还原炉电气系统的主要设备是大功率调压器。 30～ 200kVA 。 调压器所带负载是多晶硅棒串联而成的纯电阻负载。调 目前比较流行的预热方式是直接采用高压调压电源 压器的作用实际上是对负载电阻进行电加热，并且保持 进行预热，而不是用高温等离子体或放置卤钨灯等方式。 硅棒表面温度恒定 (一般 1080℃)。硅棒串联而成的 因为在掌握了电极绝缘技术的情况下，高压调压电源进 电阻是一个变化的电阻：第一，硅棒温度从常温上升到 行预热，工艺优势比较大。 1000℃， 8直径硅芯电阻从几百千欧下降到几十欧；第 预热调压器方案如图1所示，380V交流电压经过交 二，保持硅棒表面温度 1080℃，硅棒直径从 8增加到 流调压器Q调压后连接到升压变压器原边 1挡，变压器 l50，硅棒电阻从几十欧下降到几十毫欧。可见硅棒电 副边额定输出电压 (例如 12kV)，调压输出范围 、 阻大范围变动引起调压器输出电压和电流的调节范围大 U2。380V交流电压经过交流调压器Q2调压后连接到升 是这种调压器的设计特点。按照实际工作的性质，调压 压变压器原边2挡，变压器副边额定输出电压 (例如 器分为硅棒温度从常温加热到 1000℃的预热调压器和硅 6kV)，调压输出范围 一U3。380V交流电压经过交流 棒直径从 8增加到最终直径并且始终保持硅棒表面温度 调压器Q调压后连接到升压变压器原边 3挡，变压器 1080℃的还原调压器。 副边额定输出电压 (例如 3k