改善CVD金刚石薄膜涂层刀具性能的工艺研究.pdfVIP

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2017-09-12 发布于江苏
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改善CVD金刚石薄膜涂层刀具性能的工艺研究.pdf

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维普资讯第 23卷第 1期机械设计与研究 V01．23No．1 2007年 2月 MachineDesignandResearch Feb．．2007 文章编号：1006-2343(2007)O1-074-03 改善CVD金刚石薄膜涂层刀具性能的工艺研究胡如夫，孙方宏 (1．宁波工程学院交通学院，浙江宁波 315016，E—mail：ngyhrf@163．COB； 2．上海交通大学机械与动力工程学院，上海 200030) 摘要：用热丝CVD法，以丙酮和氢气为碳源，在wc．Co硬质合金衬底上沉积金刚石薄膜，在分析了工艺条件(衬底温度、碳源浓度、反应压力)对金刚石薄膜性能的影响的基础上，提出了分步沉积法改善金刚石薄膜涂层刀具性能的新工艺。结果表明，合理控制工艺条件的新工艺对涂层薄膜质量、形貌和粗糙度、薄膜与衬底间的附着力、刀具的耐用度及切削性能有显著影响，对获取实用化的在硬质合金刀具基体上沉积高附着强度、低粗糙度金刚石薄膜的新技术具有重要的意义。关键词：涂层刀具；金刚石薄膜；碳源浓度；衬底温度；反应压力中图分类号：TH392．71 文献标识码：A CVD ProcessforImprovingM echanicalPropertiesof H=li1CVD Diamond．coatedThinFilm Tools HU Ru—fu ， SUN Fang—hong (1．SchoolofTrafficnadTrnasportation，NingboUniversityofTechnology，Zhejinag，Ningbo，315016，China； 2．SchoolofMechnaicalEngineering，ShnaghaiJiaoTongUniversity，Shnaghai，200030，China) Abstract：ThediamondthinfilmsaredepositedonWC-Cocementedcrabidesubstratesbyusingtheacetoneand hydrogenasthegassourcenadthehotfilamentchemicalvapordeposition(HFCVD)．Onhtebasisofthenaalysisof theiI1nuencesoftIleCVDprocessparameters suchas tIlesubstratetemperature．crabonsourceconcentrationandreac— tionpressureonmechnaicalpropertiesofdima ond·coatedthinfilm tools，anewtechnicalmethodofintermittentdepo si· tionispropo sedtoimprovemechnaical propertiesofHFCVDdiamond-coatedthinfilm tools．Th eresultsshow thatthe new processforappropriatelycontrollingdepositionconditionsCna greatlyaffectthesurfaceroughness，morpholoyg ， chemical quality，adhesionstrength，toollifenadthecuttingperfomr nacesofthediamond-coatedthinfilm too1．Itisof greatsingificnaceforpracticalapplicationofthenewtechnoloygofintemrittentde