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∗ 微纳尺度下液桥的形成 魏征 1 赵亚溥 2 1 北京化工大学机电工程学院， 100029 2 中科院力学所非线性力学国家重点实验室 100080 摘要 大气环境下原子力显微镜测试中，毛细力在所有粘着力中占主导地位，毛细力与水 膜厚度、相对湿度有关。在本报告中，我们发现，除了上述因素外，毛细力还与两个表面 的接触时间有关。通过实验数据的分析，提出了一种液桥形成的模型。实验与模型对于理 解大气环境下原子力显微镜的工作机理具有重要意义。 关键词：毛细力、粘着力、原子力显微镜、液桥。 一、 实验部分 Multimode SPM, Nano-Scope IV, 实验用硅片经过亲水化处理。通过商用原子力显微镜 （ Digital Instruments ）进行粘着力测量。我们测量了三种不同环境下的粘着力，即相对湿度 为65 ％，30 ％和纯氮气环境，在每一个确定的接触时间下，连续进行20次测量，然后取 均值。实验结果见图1。 图1 三种不同的湿度环境下，粘着力与接触时间之间的关系 ∗ 国家杰出青年基金项目（基金编号Grant No），北京化工大学青年教师自然科学研究基金资 助项目 - 168 - 二、 实验分析和模型 2.1 实验结果 从图1可以容易发现，在相对湿度为65 ％的情况下，接触时间小于4s ，粘着力随接 触时间的增加急剧增长，接触时间大于4s后，粘着力的变化变得平缓，最终达到平衡。 相对湿度为30 ％时，其粘着力的变化趋势与前者相似，但达到平衡的时间要长。而在氮 气环境下，粘着力随接触时间变化不明显。 2.2 液桥生成模型 我们认为，粘着力随接触时间变化，揭示了液桥的生成。主要包括两个过程，液膜 流动形成液桥和毛细凝聚形成液桥。这两个过程的示意图见图2 的a和b 。 图2 两种液桥生成模型，a.毛细凝聚，b.液膜流动；c.平衡状态时液桥形状 三、结论 在实验分析的基础上，提出了原子力显微镜中液桥的形成机理，即毛细凝聚和液膜 流动。模型数值计算表明，模型能较好解释实验。 参 考 文 献 1 Kohonen M M, Maeda N and Christenson H K 1999 Phys. Rev. Lett. 82 4667 2 Mate C M 1992 J. Appl. Phys. 72 3084 - 169 -