突破衍射极限的表面等离子体激元.pdfVIP

第26卷第4期 光电技术应用 Vo1．26．NO．4 2011年 8月 ELECTRO—OPTICTECHN0L0GYAPPLICATION August，2011 · 光电器件与材料 · 突破衍射极限的表面等离子体激元 陈燕坤，韩伟华，李小明，杜彦东，杨富华 (中国科学院半导体研究所半导体集成技术工程研究中心，北京 100083) 摘 要：表面等离子体激元是外部电磁场诱导金属表面 自由电子的集体共振 ，产生沿金属一介质界面传输的表面波 ，具有 亚波长局域 、近场增强和新颖的色散特性 ，在纳米光子学中发挥着重要的角色。利用表面等离子体激元构成的光学器件能够 突破衍射极限，实现微电子与光子在同一个芯片上的集成。系统介绍了表面等离子体激元的基本原理 ，及其在光波导、探测 器、调制器和太阳能电池等方面的重要应用。 关键词：表面等离子体激元；纳米光子学；表面等离子体光学器件 中图分类号：0539；TB383 文献标识码：A 文章编号：1673—1255(2011)04—0039—06 SurfacePlasmonicsPolaritonsbeyondDiffractionLimit CHEN Yah—kun，HAN W ei—hua，LIXiao-ming，DU Yan-dong，YANG Fu-hua (ResearchCenterofSemiconductorIntegrationTechnology,InstituteofSemiconductors，ChineseAcademyofScience， Beijing100083，China) Abstract：Surfaceplasmonicspolaritonsarewavesthatpropagatealonghtemetal—dielectricinterfaces， causedbythecollectiveoscillationsofelectronplasmainthemetalinducedbytheexternalelectromagneticfield． W iththepropertiesofsub-wavelengthlocalization，nera—fieldenhacementandnoveldispertions，surfaceplamon polaritonsplayasignificantroleinnanophotonics．Plasmonicdeviceshavethepotentialofintegratingmicroelec— tronicsandphotonicsinonechipbeyondthediffractionlimit．Thebasicprinciplesofplasmonics，andhteirappli— cationsinopticalwaveguides，detectors，modulatorsandsolra cellsraediscussed． Keywords：surfaceplasmonpolaritons；nanophotonics；plasmonicdevices 互联网和计算机的速度越来越快 、功能越来越 下控制光场，实现在纳米尺度 内的聚焦 、变换 、耦 强大，但是电子线路的发热和速度严重限制了计算 合、折射、传导和复用，以及实现高准直、超衍射的 机的运行。用光子替代电子，光子不会像电子那样 新型光源和各种纳米光子学器件 ¨J。 产生大量热量，并且具有相当高的数据传输能力。 表面等离子体激元有望解决这一问题。表面 光子集成 电路 比传统的电子集成电路具有很多明 等离子体激元是光与金属 自由电子相互作用、在金 显优势，包括信号屏蔽性 、速度更快 、发热更少、带 属一介质界面产生的电子共振。表面等离子体激元