标准镜的高精度柔性支撑镜框的优化设计.pdfVIP

第 4卷 第4期 中国光学 Vo1．4 No．4 2011年 8月 ChineseOptics Aug．2011 文章编号 1674-2915(2011)04-0380-08 标准镜的高精度柔性支撑镜框的优化设计 王 平，田 伟，王汝冬，王立朋，隋永新，杨怀江 (中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，吉林 长春 130033) 摘要：为了实现干涉仪标准镜中光学元件的高精度定位，设计了一种柔性支撑镜框，研究了该结构的力学模型、结构参 数 、定位精度和透镜变形。首先 ，根据材料力学原理将柔性镜框等效为一个弹簧系统；根据力学方程和几何关系，建立了 透镜中心位置与柔性结构的挠度之间的二元方程。然后，分析了安装位置、温度、结构参数对透镜位置以及作用力的影 响。最后，应用有限元仿真分析了所设计结构的力学性能，并进行对比验证。结果表明，数值仿真分析的结果与有限元 仿真结果基本相同，柔性镜框的柔性结构厚度最优值为 1．5mm。该设计方案完全满足干涉仪标准镜对镜框在定位精 度、稳定性方面的要求。 关 键 词：干涉仪；标准镜 ；柔性镜框；定位精度 ；稳定性；有限元分析 中图分类号：TH744．3；TH703 文献标识码：A Optimized design ofhigh precision flexure·support barrelforreferencesphere WANGPing，TIANWei，WANGRu—dong，WANGLi—peng，SUIYong—xin，YANGHuai-jiang (ChangchunInstituteofOptics，FineMechanicsand ics，ChineseAcademy ofSciences，Changchun130033，China) Abstract：Toachievethepositioningopticalcomponentsofareferencesphereinainterferometeraccurately， aflexurebarrelwasdesigned．Themechanicalmodel，structureparmneter，positioningaccuracyandlensde— formationofthestructurewasstudied．Firstly，aspringmodelsystem wasestablishedbasedontheprincipleof materialmechanics．Accordingtothemechanicalequation and geometryrelations，abinaryequationofthe centerpositionoflensandtheflexureSdeformationwasgiven．Then，theeffectsofassembleposition，tern— perature，andstructureparametersonthethepositionsandforceofthelenswereanalyzed．Finally，theme— chanicalperfomr anceofthedesigned sturcturewasanalyzedbyusingtheFEA method．Theresultsindicate thattheresultsofnumericalsimulationiscoincidentwiththatoffiniteelementsimulation well，andthebest thicknessoftheflexurebarrelis1．5mm ，whichfullymeettherequirementsofthereferencesphereinthein- terferometerforthepositioningaccuracyandstabilityofthelensbarre1． Key words：interferometr；ref