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第24卷第1期 无机材料学报 V01．24，No．1
Journalof Materials
2009年1月 Inorganic Jan．，2009
文章编号：1000-324X(2009)01-0034-05
钒掺杂纳米Ti02薄膜的结构和光吸收性能
张晓勇，晁明举，梁二军，胡 帆，袁 斌
(郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室，郑州450052)
Ti02薄膜的表面形貌、结晶特性、晶格应力和光吸收性能进行了分析．结果表明，V掺杂可促进TiO：薄膜晶粒的定向生
长，得到尺寸分布较均匀的哑铃状晶粒，且可抑制薄膜的晶格膨胀和金红石型晶粒的生成．V掺杂TiO：薄膜处于压应
力状态，且应力随V含量增加而增大．V掺杂使导带底向带隙延伸，TiO：薄膜光学带隙变窄，光响应范围从紫外区红移
到可见光区域，提高了薄膜对可见光的吸收率．
关键词：二氧化钛薄膜；钒掺杂；微观结构；光吸收性能
中图分类号：0643 文献标识码：A
Microstructureand of ThinFilms
V-doped
Photo-absorptionProperty Nano-Ti02
ZHANG Bin
Er—Jun，HUFan，YUAN
Xiao—Yong，CHAOMing—Ju，HANG
of lab．ofMaterial of of
MinistryEducation，办engzIIou
(DepartmentPhysicsKey Physics
China)
thinfilmswithdifferent were
Abstract：V-dopednano—Ti02 V—dopingsp陀p黜dbymagnetronsputtering
ofthefilmswere scan-
method．Themicrostructureobservationand mechanism
crystallization performedby
electron andUV一、，istransmit·
diffractometer(XRD)．Raman
ning microscope(SEM)andX-ray spectrum
of films also anduhraviolet—visible
tallce the were byRaman叩ectrometer spectrome-
spectrum accomplished
ofthe resultsindicate
ter．Thestressin latticeand
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