原创力文档- 1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
- 2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
第24卷第4期 无机材料学报 V01．24，No．4
of Materials
Journal
2009年7月 Inorganic Jul．，2009
文章编号：1000—324X(2009)04-0783-04
非极性GaN用，．面蓝宝石衬底
杨新波1…，徐军1，李红军1，毕群玉2”，程艳2”，苏良碧1，周国清2
(1．中国科学院上海硅酸盐研究所透明光功能无机材料重点实验室，上海201800；2．中国科学院上海
光学精密机械研究所，上海201800；3．中国科学院研究生院，北京100049)
摘要：采用温梯法生长了非极性GaN外延衬底r(0112)面蓝宝石，使用化学机械抛光加工衬底表面，对衬底的结晶
质量、光学性能和加工质量进行了研究．结果显示r面蓝宝石衬底基本性能参数如下：平均半峰宽值为19．4arcsec；位
X
错密度为5．6
为0．49nm．结果表明，温梯法生长的r(0112)面蓝宝石衬底结晶质量好、位错密度低、光学性能优良、加工的表面质量
高，达到了GaN外延衬底的标准．
关键词：r面蓝宝石；非极性GaN；衬底
中图分类号：0484 文献标识码：A
Substratefor GaNFilm
R·-planeSapphire Non--polar
YANG
Xin．B01，3，XUJunl，LIHong—Junl，BIQua—Yu2’3，CHENGYan2·3，SUHang．Bil，ZHOUGuo．Qin92
of and Advanced Instituteof
(1．KeyLaboratoryTransparentOpto—FunctionalInorganicMaterials，ShanghaiCeramics，Chinese
of 201 of andFine
Institute ofSei—
AcademySciences，Shanghai800，China；2．ShanghaiOptics Mechanics，ChineseAcademy
Graduate oftheChinese of
ence$，Shanghai201800，China；3University AcademySciences，Beijing100049，China)
for
used of GaNfilmwas the
Abstract：R·-planesapphire epitaxialgrowthnon·-polar grownby temperature
andchemicalmechanicalmethodwasusedto the
gradienttechnique(TGT)method polishr-planesapphire
substrate．The andsurface ofas—obtained
crystallizationquality，opticalproperty roughness r—planesapphire
substratewere fullwidthhalf
at
文档评论（0）