飞秒激光微加工Au膜.pdfVIP

第29卷，第5期 光谱学与光谱分析 200 and 9年5月 SpectroscopySpectral May，2009 Analysis 飞秒激光微加工Au膜 袁冬青，周 明’，蔡 兰，沈 坚 江苏大学光子制造科学技术中心，江苏镇江218013 摘要飞秒激光微加工薄膜对于MEMS设备的制造是一个急需的技术。文章使用波长Ti： 000 sapphire飞秒激光器(脉宽约为130fs，频率为1 Hz)研究厚度为4 tan的Au薄膜，在不同加工参数下的 结构特性，发现单脉冲消融时消融直径随着脉冲能量的增大而增大。当单脉冲能量一定时，消融直径随着脉 冲的个数变化不大。计算得到Au膜的单脉冲消融阚值为F小0．7J·c／n～，使用脉冲能量略大于阈值时， 在薄膜上所划出的线为凸起状；当超过阈值时所得直线为凹起状。同时发现在脉冲能量一定时所得线宽随 着加工速度的增加而减小；当加工速度一定时线宽随着能量的增加而增大。 关键词飞秒，微加工；消融阈值；薄膜 中图分类号：0433．5文献标识码：A 12009)05—1209-04 IX)I：10．3964／1．issn．1000-0593 通过超声波清洗(放置丙酮和乙醇)从而去除玻璃表面的 引 言 有机污染层，然后把玻璃基体放到靶室里，放好后，通过分 X 子泵把靶室抽真空到2．6710～Pa，再进行溅射。溅射电流 利用飞秒激光进行精加工很普遍了n-3]。许多研究表明 为60mA，溅射时间为8rain。薄膜的厚度通过分光光度计 材料和飞秒激光的作用过程具有很多独特的优点，比如不存 测量大约为4tan。 在等离子体的屏蔽效应[2]，可以确定的消融阈值，可以忽略 1．2激光加工系统 热影响区，没有微裂纹，具有亚波长的特性。现在许多微纳 在我们的实验中．再生放大系统775rltn，Ti宝石激光系 尺寸加工方式应用到光电和MEMS器件加工中n]。对于大 统，脉宽为130fs，频率为1kHz。输人的光具有高斯分布， 多数的应用，薄膜需要被加工成各自的尺寸，形成所需要的 在经过二次放大后直径大约为6ITllTl。激光通过双振镜聚焦 外形。而别的技术成本高，不方便。因此，简易并且便宜的 到显微物镜上。通过计算机可以控制双振镜从而可以实现在 加工过程如激光消融直接加工薄膜是有必要的。 样品表面刻画直线，同时可以控制激光的加工速度，可精确 飞秒激光被认为是很有前景的微加工工具，这是由于他 们的特点一局部材料的消融，以及热影响区小。Molpeceres[5] 研究了使用选择消融ITo和无定性Si薄膜，用来开发光电 传感器的可能性，重点