高分辨率中阶梯光栅棱镜交叉色散光路设计.pdfVIP

第33卷，第6期 光谱学与光谱分析 2 01 3年6月 and June，2013 SpectroscopySpectralAnalysis 高分辨率中阶梯光栅一棱镜交叉色散光路设计 张尹馨1，杨怀栋2，邓超1，黄战华1，金国藩2 1．天津大学精密仪器与光电子工程学院，光电信息技术教育部重点实验室，天津300072 2．清华大学精密测试技术与仪器国家重点实验室，北京 100084 摘要以宽光谱范围、高分辨率的中阶梯光栅光谱仪为研制目标，介绍了中阶梯光栅的色散特性，阐述了 基于它的交叉色散原理，提出了分辨率优先的中阶梯光栅一棱镜交叉色散光路设计方法，包括高分辨率的主 色散光路设计、分辨叠级的辅助色散光路设计，及主一辅色散光路联合校验三个递进的环节，并结合商用光 谱仪进行了实例设计，仿真和实验表明，当光谱范围为400～900 m处的 nrn时，该分光系统在Hg灯546 分辨率可达51000，在Na光589nln处的分辨率为44000。 关键词中阶梯光栅；交叉色散；分辨率 中图分类号：TH744．1文献标识码：A 只与光栅干涉效应相关，其中d，i，0，m和A分别是光栅常 引 言 数、入射角、衍射角、干涉级次和波长。对于单缝衍射，主极 大出现在衍射角为 对宽光谱范围超精细光谱结构的并行测量是高端光谱仪 0=20B—i (2) 的重要发展方向，中阶梯光栅是实现这一目标的首选色散元 的方向[2]，在该方向上光栅分辨率公式变为 件。它具有光栅常数大，闪耀角大，衍射级次高及全谱闪耀 等特点，能在宽光谱范围获得高分辨率和高光通量，但光线 (3) R—mN：W——[s—in—i+——si-n(—2—0B—--一i)] ^ 经其色散后光谱级次重叠严重，需要采用棱镜或光栅将重叠 w为光栅刻划宽度。令dR／di=0，那么当i一先时，R有极 的级次分开，形成交叉色散。商用分析仪器要求低成本、结 大值。因此，中阶梯光栅工作在i一口一先的Littrow条件下， 构简洁，通常用棱镜与中阶梯光栅配合色散，并采用反射式 能获得最佳光谱分辨效果和最高峰值衍射效率[3]。在实际 的准直和成像系统形成二维光谱。国外在该领域的技术及应 中，严格的Littrow结构使得光路安排异常困难，通常采用 用已相对完善，而国内尚处于起步阶段，仅有唐玉国等[13设 入射光线与光栅主截面有离面角y的准Littrow结构，如图 计了棱镜反射式的交叉色散光路。本文系统阐述了中阶梯光 1所示。 栅一棱镜交叉色散光路的设计方法，并以商用光谱分析仪器 的光路为例，设计了基于球面镜的中阶梯光栅一透射棱镜交 叉色散光路，实验结果表明，光路对Hg灯546ntn波长的分 辨率为51000