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第30卷,第7期 光谱学与光谱分析
201 and
0年7月 SpectroscopySpectralAnalysis July,2010
光学发射光谱法测量氩气微空心阴极放电中特性参数
夏广庆1,Nader
Sadeghi2
1.大连理工大学工业装备结构分析国家重点实验室,运载工程与力学学部。航空航天学院,辽宁大连116024
2.光谱物理实验室,约瑟夫·傅里叶大学&法国国家科学研究中心,38041,格勒诺布尔,法国
摘要针对微空心阴极放电(MHCD)装置,通过在氩气中添加少量氮气,分析氮分子第一正带系N2
(B3/-/.A3古)发射光谱的方法测量了MHCD中的气体温度,通过氩气中混有的少量氢气,分析心谱线Stark
加宽得到电子数密度。研究表明,MHCD在极小的体积和很高的功率密度下维持放电,致使发生了明显的
气体加热现象,气体温度可高于700K,并且随着放电室压强和放电电流呈有规律的变化,具有较好的可控
性,电子数密度的虽级为1014~1015C1TI~。通过对不同条件下等离子体特性参数的诊断和分析,得到了其量
级和变化规律,对MHCD的广泛研究和应用提供了重要的实验数据和技术支持。
关键词微空心阴极放电;转动温度;气体温度;电子数密度;光学发射光谱
中图分类号:0461.2文献标识码:A
了仪器加宽(矾。),多普勒加宽(WD)和压力(范德瓦耳斯)
引 言 加宽(Ww)对测量结果的影响。本文重点研究了不同压强
(8X103~4×104
Pa)和放电电流(1~3mA)条件下的MH—
微空心阴极放电(MHCD)是在钻有直径为几十微米到CD中气体温度和电子数密度。
几百微米孔的阴极一电介质一阳极之间产生和维持稳定的高气
压放电。阴极和阳极的厚度为几百微米,材料多选用钼,电 1实验装置与测量方法
介质的厚度亦为几百微米,常选用云母或三氧化二铝。MH—
CD的运行功率很低,仅为几百毫瓦~几瓦。由于MHCD具 实验装置如图l所示。MHCD钼阴极和阳极的厚度均
有较高的电子数密度,高气压下放电有利于三体碰撞形成准 为100印,三氧化二铝电介质厚度为250脚。电极和电介
分子,产生紫外(uV)或真空紫外辐射(VUV),因此MHCD质问钻有直径为100p.m的微孔。放电中的发射光谱通过焦
技术潜在的应用领域包括电子源,等离子体显示,光探测 距为30rflin的透镜会聚后,进入焦距为1rn,光栅I200刻
Yvon
器,材料表面处理,除菌等[1{]。MHCD结构尺寸很小,因此槽·n-ll=Il-1的单色仪(JobinHRl000),用计算机采集。
放电功率密度较大,由于放电运行在高气压条件下,粒子间 实验中选用氩气为工质气体,压强变化范围(8×103~4×
104
碰撞剧烈,能量转换频繁,由此可以推断MHCD中具有明 Pa)。阴极需串联镇流电阻(Rb=500kQ),以避免击穿过
显的气体加热效应。目前,关于MHCD中气体温度的测量程中由于瞬间高电流而损坏电极,电压由直流电源提供,阳
还少有报道,Petzenhauser等在纯氮气中测餐了气体温度H]。极串联测量电阻(R恤=10012)后接地。放电电压(Ⅵ)和放电
由于气体温度和电子数密度对MHCD的工业应用至关重要,电流(Ⅵ/e。)均通过示波器直接测量。
为了明晰这些重要的等离子体特性参数以及其随实验条件的
变化规律,论文中利用光学发射光谱的方法,将少量的氮气 得到转动温度,之所以使用氮分子发射光谱进
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