SooPAT多层材料的减薄装置及减薄待测样品的方法.pdfVIP

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2017-09-12 发布于重庆
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SooPAT多层材料的减薄装置及减薄待测样品的方法.pdf

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SooPAT 多层材料的减薄装置及减薄待测样品的方法申请号：201110416216.2 申请日：2011-12-14 申请(专利权)人中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所地址 215125 江苏省苏州市工业园区独墅湖高教区若水路398号发明(设计)人刘争晖徐耿钊钟海舰樊英民曾雄辉王建峰周桃飞邱永鑫徐科主分类号 G01Q30/20(2010.01)I 分类号 G01Q30/20(2010.01)I 公开(公告)号102520212A 公开(公告)日2012-06-27 专利代理机构上海翼胜专利商标事务所(普通合伙) 31218 代理人孙佳胤翟羽注：本页蓝色字体部分可点击查询相关专利 (19)中华人民共和国国家知识产权局 *CN102520212B* *CN102520212B* (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 102520212 B (10)授权公告号 CN 102520212 B (45)授权公告日 2013.10.30 (21)申请号 201110416216.2 JP 特开2003-329643 A,2003.11.19, 全文. US 5618760 A,1997.04.08, 全文. (22)申请日 2011.12.14 CN 102269772 A,2011.12.07, 全文. (73)专利权人中国科学院苏州纳米技术与纳米 CN 101079331 A,2007.11.28, 全文. 仿生研究所 CN 102089864 A,2011.06.08, 全文. 地址 215125 江苏省苏州市工业园区独墅湖颜学进等. 刻蚀腔InGaAsP/InP 双异质结激高教区若水路398 号光器的制作与特性. 《半导体学报》.1997, 第18 (72)发明人刘争晖徐耿钊钟海舰樊英民卷 (第11 期),836-839. 曾雄辉王建峰周桃飞邱永鑫审查员张沫徐科 (74)专利代理机构上海翼胜专利商标事务所 (普通合伙) 31218 代理人孙佳胤翟羽 (51) Int.C l. G01Q 30/20 (2010.01) G01Q 60/02 (2010.01) (56)对比文件 US 5742172 A,1998.04.21, 全文