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第25卷第4期增刊 仪 器 仪 表 学 报 2004年8月
位敏探测器在三维主动振动控制系统中的应用研究
张大兴 贾建援 贾 威
(西安电子科技大学 西安 710071)
摘要 位置敏感探测器(PositionSensitiveDetector，简称PSD)作为振动检测器件应用于三维主动振动控制系统中，建立了
系统的数学模型。对检测过程中遇到的具体问题(如光源的选择、背景光的影响、装置转动的影响等)进行了分析，升给出了相
应的解决措施。对PSD信号处理电路做了简单介绍。
关键词 位置敏感探测器M 主动振动控制
ApplicationResearchonPositionSensitiveDetectorinThreeDimensional
ActiveVibrationControlSystem
ZhangDaxing JiaJianyuan Jia Wei
(XidianUniversity,Xian710071,China)
Abstract Positionsensitivedetectorsareusedinathreedimensionalactivevibrationcontrolsystemasvibration
detectivecomponents.Thesystemmathematicalmodelisestablished.Somematerialproblemsareanalyzed，
suchastheselectionofLED，theeffectofbackgroundlightandequipmentturning.Thesolutionmeasuresare
presentedaccordingly.ThesignalprocessingcircuitofPSDisintroduced.
Keywords Positionsensitivedetector(PSD) Threedimension Activevibrationcontrol
振动主动控制系统中的具体技术进行了研究。
1 引 言
2 三维主动振动控制系统及其数学模型
通常，振动的检测主要依靠加速度传感器，要获得
振动位移，就需对加速度进行二次积分，积分器的相位 2.1 控制系统原理描述
漂移和频响能力制约了振动主动控制的技术水平，积 控制系统模型如图1所示，隔振对象通过弹性体
分误差是制约系统隔振性能的瓶颈之一，位置敏感探 与基础连接，PSD置于二者之间检测相对位移，检测
测器(PSD)可以直接检测振动位移，为振动主动控制 结果经处理后输人到控制器，控制器输出控制量经过
提供了更为简捷有效的途径。本文对PSD应用于三维 放大后驱动作动器控制隔振对象的振动。
、 2.2 系统数学模型描述
对隔振对象的三维转动进行约束，只考虑三个方
向的平动，不考虑这三个方向的祸合问题，绝对坐标系
叫 曰 曰 功 日 卜 长
信 下的三维主动振动控制系统模型可以简化为式(1),
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图1 振动主动控制系统
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