光刻机投影物镜安装方式研究.pdfVIP

第28卷 第8期 V01．28 No．8 文章编号：1007-1180(2011)08-0022—05 光刻机投影物镜安装方式研究 齐克奇 伸 国科学院 长春光学精密机械与物理研究所 应用光学国家重点实验室，吉林 长春 130033) 摘 要：不同的投影物镜安装方式对应不同的隔振方式，不同的隔振方式对投影光刻系统的图形传递能力也 有较大影响。对两种主要的光刻投影物镜安装方式进行了研究，并对各 自特点进行了讨论。 关键词：投影物镜 ；安装方式；隔振方式；投影光刻系统 中图分类号：TH703 文献标识码：A DOl：10．3788／0ME0022 InstallationMethodsofLithographyProjectionLens QIKe—qi (StateKeyLaboratoryofAppliedoptics，ChangchunInstituteofoptics，FineMechanicsandPhysics， ChineseAcademyofSciences，Changchun130033，China) Abstract：Differentinstallationmethodofprojectionlenscorrespondstodifferentmethodofvibrationisolation,different isolationmethodoflithographyprojectionsystemaffectstransferabilityofthegraphics．Twomaininstallationmethods oflithographyprojectionlenswerestudiedinthispaper,andtheircharacteristicswerediscussed． Keywords：projectionlens；installationmethods；methodofvibrationisolation；lithographyprojectionsystem 言 姜 投影光刻对大规模集成电路的制造来说至关重 传递能力，是光刻机的核心 。然而 ，不同的投影 www．omeinfo．corn Aug． 2011 第28卷 第8期 Vo1，28 No．8 物镜安装方式对应不同的隔振方式 ．不同的隔振方 式对投影光刻系统的图形传递能力有较大影响 ，所 以，对投影物镜的安装方式的研究非常必要。 本文对国内和国外光刻机投影物镜安装方式 的 相关结构特点进行了讨论和研究 ，并对其特点进行 加速度 对 比分析。在对 国内外光刻机投影物镜安装方式进 音圈 电 行深人研究后，发现其支撑方式主要有两种：悬挂 式和支撑式。下面就对这两种方式分别讨论。 2 悬挂式 图2 悬挂式结构的横截面图 悬挂式光刻机投影物镜定位系统 ．就是将投影 用其他的非接触式 电磁驱动装置取代，弹簧和钢索的 光刻物镜悬挂起来的安装定位方式。图 l为 El本 组合可以用柔性杆和其他被动减振装置取代。 NIKON公司申请专利 的悬挂式光刻机投影物镜的 3 支撑式 安装定位方式示意图。 支撑式光刻机投影物镜安装定位系统是